ウェーハ取出・収納機（WLU-01型）
3種類の動作が行える装置
φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
収納装置×株式会社ジャステム - メーカー・企業と製品の一覧
収納装置の製品一覧
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基板振分収納装置（BTS-03型）
既存コンベア上を移動するご指定基板を別のコンベアに移載、もしくは専用カセットに収納する装置です
・非接触 P&P方式により同時に3枚の基板を搬送します。 ・ワークサイズはご相談下さい。
- 企業：株式会社ジャステム
- 価格：応相談
