可視化装置×一般財団法人材料科学技術振興財団　MST - メーカー・企業と製品の一覧

［SCM］［SNDM］

キャリア分布を二次元的に可視化

SCM/SNDMは、導電性の探針を用いて半導体表面を走査し、キャリア分布を二次元的に可視化する手 法です。 ・SCM：1015～1020cm-3、 SNDM：1014～1020cm-3程度のキャリア濃度に感度がある ・半導体の極性（p型/n型）の識別が可能 ・キャリア濃度に相関した信号が得られるが、定量評価は不可 ・AFM像の取得も可能

• 企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST
• 価格：応相談

• 
• 

• 受託解析
• 受託測定
• 受託検査