超高純度用クリーン・ドライ・エアー用圧力計PGU/PGCシリーズ
システムの正圧および真空のモニタリングが可能で、バルク・ガス供給から半導体デバイス製造装置まで幅広い用途に対応します。
目盛板の外径サイズ: 40 mm、50 mm/ASME B40.1 に準拠した精度/エンド・コネクションの材質:316L VAR ステンレス鋼(PGU シリーズ)/形状:背面取り付け用(センター接続)、下部取り付け用
- 企業:スウェージロック・ジャパン
- 価格:応相談
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システムの正圧および真空のモニタリングが可能で、バルク・ガス供給から半導体デバイス製造装置まで幅広い用途に対応します。
目盛板の外径サイズ: 40 mm、50 mm/ASME B40.1 に準拠した精度/エンド・コネクションの材質:316L VAR ステンレス鋼(PGU シリーズ)/形状:背面取り付け用(センター接続)、下部取り付け用
真空から正圧100 MPa までのモニタリングが可能
目盛板の外径サイズ:40 mm、50 mm、63 mm、100 mm、115 mm、160 mm/ASME、EN、JIS の規格に 準拠した精度/エンド・コネクション:Swagelok(R) チューブ・アダプターなど各種/形状:背面取り付け用( センター接続)、背面取り付け用( オフセンター接続)、下部取り付け用/材質:ステンレス鋼、 強化サーモプラスチック( 熱可塑性プラスチック)/液体充填タイプもございます