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水や油が飛び散る環境でも、 サブミクロンオーダーの変位測定を実現
UEC-1は、測定ギャップの水や油に影響されず高速な微小変位の測定に最適な渦電流方式の非接触変位計です。 100kHzの応答速度とサブミクロンオーダーの分解能を実現しています。 センサ内部のコイルに高周波電流を流して、高周波磁界を発生させます。電磁誘導作用によって、測定対象物表面に磁力線を取り囲むように渦電流が発生します。渦電流の大きさはセンサと測定対象物の距離によって変化し、これによるセンサプローブのインピーダンス変化から距離に対応した出力を得ています。 アプリケーション例 ■微動ステージの高速位置決めフィードバックの変位センサとして ■高速変位測定に ■歯車の回転速度測定に(例：90歯の歯車を使うと50,000rpmも測定可能） ■2台使って歯車の正転・逆転に対応した回転角度測定に ■ピストンやバルブ、クランクシャフトの挙動の解析 ■タービンロータの回転挙動、特性測定、モニタリング ■機械加工中のワークの振動測定 ■ラップ盤の終点検出
高精度な振動変位の計測が可能！
光ファイバーを介して測定対象物に光を照射し、その反射光を検出することにより変位や振動の変化を高速で非接触に行うことができる装置です。 光を利用して測定するため、測定対象物に全く負荷を与えることなく、かつ磁界や電界から影響を受けることもありません。 また交換式のセンサモジュールは、要求する感度・測定範囲・周波数帯域・スポット径に応じて交換・選択することが可能です。 小型化と簡便性を追求した「PM-E」は、研究開発および各種産業分野での幅広い要求に応える製品です。
カタログ進呈中！ナノメートルを安定に測定できる非接触式変位計
PSセンサは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。変位・振動・形状・位置検出など幅広い分野に用いられ、コストパフォーマンスを追求した汎用変位計として高い評価を得ております。 また、地球環境の影響を考慮し、いずれの製品も鉛フリー・RoHS指令に対応しております。 研究開発分野から半導体関連装置・電子機器への組み込みなど、応用性のある高性能ツールとして多くの実績を重ねております。 ご使用環境に応じて、ご提案させていただきます。 お気軽にお問い合わせ下さい。 ***************************************************** PS-IAの詳細が掲載されているユニパルス総合カタログ無料進呈いたします。 ご希望の方は、お気軽にお問い合わせ下さい。 ***************************************************** 【株式会社ナノテックスはユニパルス株式会社と合併しました。】
新登場！応答速度５倍！回転物体のブレ測定に最適な静電容量型変位計
■高応答・高安定・高分解能・静電容量型非接触変位計 PS-IA-HSは、独自の技術による静電容量方式を採用し、高応答・高安定・高分解能・汎用性を実現した超精密非接触変位計です。 多くの導入実績があり、高い評価を得ているPS-IAの使いやすさはそのままに、応答速度が5倍になりました。 従来、測定が難しかった高速な変位現象の測定を可能にします。 回転物体のブレ測定やピエゾステージのクローズループ制御に最適です。 ＊標準測定レンジ30μm～10000μmの幅広いラインアップ ＊導体であれば材質により感度が変わらない ＊表面粗さの影響を受けない ＊高い直線性：±0.05％以下 ＊応答速度5kHz ご使用環境に応じて、ご提案させていただきます。 お気軽にお問い合わせ下さい。
高速変位測定の決定版！ 差動型光ファイバー変位計！
プローブを測定箇所に近づけるだけで、高速微小変位の測定が可能です。 面倒なワークの反射率の補正は不要です。
