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半導体材料ガスの漏えいをすばやくキャッチ
●半導体材料ガスの微量なガス漏れを検知。 ●ガス濃度の変化により、警報音（断続音）のスピードが徐々に変化し高濃度になると連続音でお知らせするのでガス漏れ箇所の特定が容易。 ●1台でさまざまな半導体材料ガス（アルシン・ホスフィン・シボラン・シラン・水素など）に対応。 ●従来品より大幅に小型・軽量化を実現。手にスッポリと収まるコンパクトボディ。 ●電池残量やポンプの状態など、機器の状態がわかりやすいLCD画面を搭載。 ●アラームランプを正面と底面の2ヶ所に搭載し、作業中に警報がわかりやすい。 ●保護等級IP22（JIS C 0920）相当※。 ※レザーケース装着時 わかりやすいLCD画面を搭載 電池残量や警報音・操作音のON/OFFなどがわかりやすい。
本体重量390ｇ（電池込み） コンパクト設計
■1台で可嫌ガス/冷爆ガスの切替えができます。 プローブ先端のセンサを付け替えて可燃ガス検知と冷媒ガス検知の切替が可能です。 ●LEDでレベルを表示します。 ●音での音告ができます。(ミュート機能付) ●プロープ先端部がガスレベルによつて点減します。 ●自動ゼ回校正を行い、定期的な校正が不要です。 ●自動吸引式。
0.5秒以内の素早い反応速度
●代替フロンR134a/404A/407C/410A及びR22等既存冷媒に幅広く対応 ●0.5g/year（R410A、H5にて）の最高感度で微小なリーク検知に対応 ●素早い反応速度（0.5秒以内、H5 レンジ時）を実現 ●プローブにゼロリセットボタンを搭載（MF6ER-100HBFのみ） ●別売のフロンガス校正器MF6LS-150Fを本体にワンタッチで取り付け可能 ●センサー断線時にブザー音とLEDで知らせる自動警報機能内蔵 ●本体パネル内に流量計を標準装備し、吸引状態を常時チェック可能 ●音階をつけたブザー音と本体前面配置のスピーカーによるわかりやすい検知判定 ●アナログ電圧出力・警報接点出力の外部出力を標準装備 ●センサ寿命が長く消耗品が少ない低ランニングコスト設計
誤反応に強い待望の赤外線(IR)センサ搭載
赤外線センサ…選択性に優れ誤反応が少ない方式です 吸引式…吸引ポンプ内蔵タイプで検知速度が速いのが特長です ●誤反応に強い待望の赤外線(IR)センサ搭載 ●冷媒ごとの感度調整がされている冷媒選択方式 ●環境に左右されず微量な漏れも的確に感知(Hi3g/年) ●校正証明書、検査成績書、トレサビリティ体系図付
