フィルム連続成膜装置
フィルム連続成膜装置
ロール状フィルムを連続成膜する装置 ■□■特徴■□■ ■スパッタ・EB・抵抗加熱蒸着に対応 ■テンションピックアップフィードバック制御 ■フィルム放出ガス排気用コールドトラップ ■差動排気システム（任意設置） ■基板クリーニング機構 ■抵抗値透過率モニター機構 ■成膜ローラー冷温媒装置 ■表裏連続成膜にも対応します（右記イメージ図参照） ■ロール幅・ロール径・巻取り速度は任意相談 ■巻取り制御 UW、W、CR単独制御 ■半導体製造装置や理化学機器及び付属品のオーダーメイド品なら お任せください。詳細は、お問い合わせ下さい。
- 企業：ケニックス株式会社
- 価格：応相談
