【納入事例】自動車部品リークテスト用 高真空排気ユニット
ターボ分子ポンプを主ポンプとした『高真空排気ユニット』の事例をご紹介します
今回自動車部品のリークテスト向けに納入させていただいた排気ユニットは、 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ「TG350F」を主ポンプとし、直結型 油回転真空ポンプを補助ポンプとする排気ユニットです。 ターボ分子ポンプの吸気口に短管を介して取り付けられた口径100mmの アングルバルブで真空チャンバーと接続します。 ターボ分子ポンプと油回転真空ポンプは、車輪のついたカートに 取り付けられています。また主ポンプ、補助ポンプともに空冷ポンプですので、 排気ユニットはAC100V入力のみで運転可能です。 カートに取り付けられたタッチパネル式コントローラで、真空計や スローリーク弁等の操作を含めたシステム全体の自動運転や各部位の マニュアル操作を行うことが出来ます。 グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプTG350Fは外部からの振動に強く、 カートを移動させながら定格運転を維持することが出来ます。 シンプルかつ信頼性の高い排気ユニットで、自動車部品の製造を支えています。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社大阪真空機器製作所
- 価格：応相談
