改質装置×株式会社エキシマ - 企業1社の製品一覧

真空用エキシマUV洗浄改質装置

大面積SUS真空チャンバー内径250mm、深さ100mm採用

シンプルなシステム構造でさまざまな照射条件を実現します。

• 企業：株式会社エキシマ 横浜ラボ
• 価格：応相談

• オゾン発生装置
• その他半導体製造装置
• その他加工機械