オカノ電機(株) LED外観検査装置
NGチップを高速排除もしくはバットマーキングが可能です。
マガジンから供給されたリング上のウエハチップを XYθステージにセットし、ラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。
- 企業:オカノ電機株式会社
- 価格:応相談
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NGチップを高速排除もしくはバットマーキングが可能です。
マガジンから供給されたリング上のウエハチップを XYθステージにセットし、ラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。
半導体業界 (外観検査)
XYθステージにセットされたウエハチップをラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。