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SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。
内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、研磨痕検査 ■異物検査（内部含む） ■表面粗さやパターン傾斜等の測定（オプションＡＦＭ） ■スクラッチ、ピット、泡の検査 ■非接触型、厚さ測定（オプション厚さ計） ■マイクロクラック、ピンホール ■その他、外観検査全般
３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能。
【装置概要】 ３００ｍｍウエハでも全視野ワンショット１秒以下で検査可能で、 検査時間が短いため、全自動化検査ラインにも、採用されております。 小視野の光学系からラインナップしており、オプション光源に 赤外線を用いることにより内部のボイド検査にも応用できます。 近年ウエハーの薄型化が進んでいますが、ＢＧ 加工の不均一性や 研磨痕や応力から生じたチップクラックなどウエハー全視野を 高速で検査する高精度ウエハークラック検査装置です。 【装置特徴】 自動検査のほか、スタンドアロンタイプもラインナップしており マニュアルでの検査が可能です。任意のスライスレベルを設定出来 ニーズに合った検査が可能です。用途によりソーマーク除去機能も 有し研磨痕を除いた欠陥成分を自動で抜き出します。 【装置アプリケーション】 ●パターン付きウエハークラック検査 ●ベアウエハークラック検査 ●ウエハーエッジダメージ検査 ●ＢＧ研磨痕の評価 ●スラリーの評価 ●ガラス基盤の応力残り ●ストレスレリーフの評価 ●ＢＧテープのテンション検査 ●化合物ウエハの歪みや傷検査
