イオン注入装置のラインナップ
低エネルギーから8MeＶまでの多彩な注入装置を完備しております。
室温でのイオン注入はもちろん、世界で数社のみが対応可能な高温でのイオン注入では、トップレベルの技術力と設備を誇ります。 弊社では、チップ小片から300ｍｍ（12インチ）径ウエハまで多種多様なサンプル及び、お客様からのご要望に合わせて各種条件での注入処理が可能です。注入条件は10～8 000KeVまで、室温から高温加熱（600℃）まで、イオン種は約60種の対応が可能です。
- 企業：株式会社イオンテクノセンター
- 価格：応相談
