洗浄技術 「超精密洗浄技術」
エッチングアパーチャーと独自の洗浄技術で清浄化！ナノレベルの洗浄技術
電子顕微鏡にはMo箔製ピンホール(アパーチャー)が広く搭載されており、大半がエッチング加工により製作されています。 エッチング加工により製作された穴には、汚染物が付着しており、そのまま装置に搭載しても、本来の性能を発揮することが出来ません。 株式会社大和テクノシステムズでは独自の特殊洗浄を行いクリーニングを行うことによってナノレベルの汚染物を除去しております。 【特徴】 ○SEMを駆使して部品の検査を行っている ○独自の技術でコンタミの除去が可能 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
- 企業：株式会社大和テクノシステムズ 本社
- 価格：応相談
