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高周波流水式洗浄で微細なパーティクルを瞬時に除去
■主に液晶ガラスを洗浄するために、カーテン状の洗浄液流水に超音波を重畳させてパーティクルを洗浄するラインタイプの流水式超音波洗浄機です。 ■パーティクルの再付着がなく、サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特徴があります。 ■W-357LM-180/W-357LM-380/W357LM-580はノズル部にPP（ポリプロピレン）を使用しており、金属イオンの発生がほとんどありません。
超音波振動をクリーンな水流に乗せて洗浄するパルスジェット洗浄機。 枚葉式洗浄に向いています。
■主にウェーハやハードディスクを洗浄するために、 ノズル先端から放射された流水に超音波を重畳させて 被洗浄物の洗浄をするポイントタイプの流水式超音波洗浄機です。 放射された流水は超音波の伝播と同時に超音波作用で剥離した汚れの 輸送媒体として機能します。 ■流水式のためパーティクルの再付着がなく、 サブミクロンのパーティクル除去率が高いという特長があります。 枚葉処理が可能なため、生産ラインへの組込みが容易です。 ■用途・使用液に合わせて豊富なバリエーションから選択できます。
石英振動体に超音波を重畳させてウェーハやマスクを洗浄する洗浄機。 低ダメージ、高クリーン度を実現しました。
■石英振動体に超音波を重畳させて、半導体ウェーハを洗浄 薬液を半導体ウェーハに浸し、石英ガラスを通じて超音波振動を伝播させることで、接触部の薬液が振動して、その加速度によって表面の汚れを除去します。 ■半導体ウェーハにダメージが少ない、クリーンな洗浄 薬液との接液部に石英を用いることで、パッキン等ゴム材を使用した装置と比べてゴムの溶出や摩耗がなくクリーンな洗浄を実現します。 ■振動子冷却機能付き 振動子を気体(窒素等)で冷却することで周波数変動がなく安定した連続運転が可能です。また、冷却することで急激な温度変化がなく長寿命です。
