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「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの測定チャネルを搭載しております
研削作業では、加工中にウエハーの厚さを調整する必要があります。 非接触・非破壊の光学測定法であれば、ワークにストレスを加えたり ワークを破壊したりすることなく加工中のウエハーの厚みがモニター されるため、ソリューションとして好適です。 当社の「CHRocodile 2 DPS色収差共焦点センサー」は、独立した2つの 測定チャネルを搭載しています。 センサーは2つの色収差プローブを処理し、測定値と出力をリアルタイム に同期。ウエハーの最終的な高さや厚さを出力します。 【特長】 ■10年以上に及ぶCMPおよび研削の干渉測定から得たノウハウにより、 過酷な環境向けの色収差プローブの開発を実現 ■過酷な環境におけるウエハー厚の非接触式測定 ■プローブごとに10 kHzのデータ取得レート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
高温環境での平坦度測定や製造工程中の異物検査、ボタン電池のエッジ形状検査、セパレーター厚みやコーティング厚みの測定等の実績豊富！
当社は色収差共焦点・干渉を原理とした非接触タイプの測定器を取り扱っています。 膜厚測定、形状測定、粗さ測定、変位測定、外観検査に適用でき、加工中のインプロセス測定やインラインでの高速検査、オフライン測定が可能です。 各種インターフェースを用意しており、組み込み用途にも対応。 高分解能（最小XY分解能1μm～、最小Z分解能0.02μm～）で測定が行え、製品品質の向上、製造プロセスの時間・コスト削減に貢献します。 シングルポイントセンサでは、低価格向けの製品（CHRcodile C CHRocodile Mini)も２種類用意しています 【特長】 ■幅広いセンサラインナップ 各種センサプローブの中から検査要件、材質に応じて選択可能 ■測定範囲に応じたセンサ シングルポイントセンサ、ラインセンサ型、エリアスキャン型をご用意 ■用途 PCBフレキの検査、ワイヤループ検査、ウエハバンプ検査などに活用可能 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
高い柔軟性と効率性！測定点は最大12.5 mmの長さを持つライン上に広がっています
容器ガラスのびんを生産する際、生産速度が速いにもかかわらず、 びん1本1本の肉厚を検査する必要があります。 そして、容器の重要部分を測定する場合や、黒色ガラスや非球形容器を 測定する場合既存のポイントプローブセンサーでは難しい現状です。 当社の「CHRocodile MPS 2Lセンサー」は、測定点最大12.5 mmの長さを 持つライン上に広がっています。 高い柔軟性と効率性で、各チャネルを個別に処理できるため、1本の ラインプローブと最大12個の追加のポイントプローブを使用した 構成なども可能です。 【特長】 ■ラインプローブごとのデータ収集レートは4.5 kHz ■CHRocodile MPS 2Lによる毎秒108 000点の測定 ■移動速度の速いサンプルでもインライン検査が可能 ■使用するチャネル数を減らすことでサンプリングレートが増大 ■CHRocodile MPS 2Lは最大24個の独立したチャネルの測定、プローブの ラインに沿った測定点の選択機能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
