Datapaq 薄膜プロセス/真空プロセス専用温度測定システム
薄膜プロセス中の製品の温度測定用に専用設計された温度測定システム
フルーク・プロセス・インスツルメンツ社（旧社名Datapaq、データパック）の成膜プロセス・真空プロセス専用の温度測定システムは、温度データロガーを熱から守る専用設計耐熱ケースを使用することで成膜装置内に投入することが可能です。真空での使用に特化することで耐熱ケースの小型化に成功し、既存品の耐熱ケースでは寸法的な制約から使用することができなかった様々な成膜装置での製品温度測定を実現します。データロガーDP5シリーズはユーザーによる電池交換が可能になり、TCOの削減・ダウンタイムの最小化を実現しました。
- 企業：テクノアルファ株式会社
- 価格：応相談
