水銀プローバ CV/IV測定システム
水銀プローバ CV/IV測定システム
アメリカFour Dimensions社の再現性、安全性に非常に優れた水銀プローブ方式を用いたCV/IV測定システムです。Si、化合物、SOI、バルクといった様々なウェハの特性を測定できます。 【特長】 ◆電極作製が不要。水銀自体が電極となるため、コスト／時間の掛かる パターン形成工程が不要。バルク、又は絶縁膜を形成した状態で測定 可能 ◆オートマチックシステム。最大49箇所の測定サイトを指定しC-V、I-V 特性、TDDB、Vdb、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化 膜厚、Low-k、High-k等の自動マッピング測定が可能 ◆高い測定再現性。正確に設計された水源プローブ面積と、測定毎に新鮮 な水銀を使用する独自のメカニズムにより優れた測定再現性を実現 ◆コンパクト構造。CV、IVメータ、搬送台、プローブ部を一体化 ◆様々なウェハやチップに対応。1〜12インチウェハ、チップサイズサンプル の測定が可能
- 企業：雄山株式会社 東京支店
- 価格：応相談
