抵抗率測定機(RTS-02型)
抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分 または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。
- 企業:株式会社ジャステム
- 価格:応相談
1~2 件を表示 / 全 2 件
抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分 または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。
Siウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定
φ4”、5”、6”、8”インチSiウェーハの厚さ測定、表裏面P/N判定、比抵抗測定を行いその結果によりあらかじめレシピにて設定したカセットに仕分けを行います。