回転CVD炉
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。
- 企業:株式会社マイクロフェーズ
- 価格:500万円 ~ 1000万円
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リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコートなどに
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。