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チューブ、ボート等！当社の加工技術で高度な要望に応えて更に応用分野を拡大
当社が設立当初から取り組んでいる溶融石英ガラス分野として、 『各種石英精密加工製品』を提供しています。 高純度と耐熱性が必要とされる半導体製造プロセスは、石英ガラスの 重要な応用分野の一つです。近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、 ますます高精度な製品が求められるようになってきています。 CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等、 当社の加工技術で高度な要望に応えて更に応用分野を拡大しています。 【石英ガラス素材】 ■石英ファイバースリーブ材 ■耐熱/耐高温クロス材 ■化学成分 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
大型化・微細化など顧客満足に高次元で応える
株式会社SCREEN SPE クォーツの保有するいわき工場加工品事業では、半導体製造 ラインにおける熱処理工程やエッチング工程で使用される石英製品の加工 を行っています。 その他にも、太陽電池、光関連、医療バイオなど、大型化、微細化する あらゆる製品加工に対応するための研究開発を行っています。 最先端設備でさまざまなニーズに対応します。 【事業内容】 ■半導体製造装置向け石英製品の製作加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
安全・機能的な生産体制で石英製品の製造・加工を担う
株式会社SCREEN SPE クォーツの保有する郡山工場は、半導体製造装置関連の 分野における創業以来の生産拠点であり、半導体ウエハー洗浄用処理槽 （石英槽）の開発・製造を鋭意的に展開しています。 クリーン度がハイレベルに保たれた工場内では、材料調達から製品出荷 までの各工程が一貫して機能し、安全かつ効率的な生産体制を構築して います。 また、約1,700℃の高い軟化点を持つクォーツの特性を生かし、ボートや チューブをはじめとするウエハー熱処理装置用部品の開発・製造も積極的 に行っています。 【事業内容】 ■半導体洗浄装置向け石英槽および関連部品の製作加工 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。
半導体製造用石英製品製造・再生、電子用各種ガラス製造
主要製品 半導体製造用石英製品 (各種エッチャ-パーツ・反応緘・ベルジャー・各種ボート・洗浄槽 他)・電子工業用各種硝子 (耐熱耐圧覗硝子・硬質強化覗グラス各種・耐熱耐圧水面計、液面計)・半導体用再生石英 (各種製品に対応) 加工技術内容 ・再溶融加工により、高精度で自由度の高い形状を作り出すことが可能です。 ・マシンニングセンターを使った高精度な研削加工が可能です。
