プロトスキャリア対応自動移載システム『SSY-20010』
ワークの高さを自動で認識できるプロトスキャリア対応自動移載システム
『SSY-20010』は、プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送する 自動移載システムです。 プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載でき、ベルヌーイチャックを 搭載しているので、薄物ウェーハにも対応しています。 また、ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能で、ワークの高さを 自動で認識します。 【特長】 ■プロトスキャリア内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送 ■プロトスキャリア、カセット間をダメージなく自動移載可能 ■ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ■ウェーハとプロトススペーサ(層間紙)の自動識別が可能 ■ワークの高さを自動で認識 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：株式会社ジェーイーエル
- 価格：応相談
