透過EBSD法による30nm以下の結晶粒解析
EBSD：電子後方散乱回折法
薄片化した試料でEBSD分析を行うことにより、従来のバルク試料よりも高い空間分解能を得ることができます。
- Company：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- Price：応相談
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Xe-プラズマFIBによる構造解析
数百μmの広い領域を対象に精密加工/構造評価が可能
高い位置精度かつ広域の断面作製を実現し新しい大容量解析アプリケーションとして活用できます 大面積中の小さな構造でも狙って加工でき、広域の構造解析が可能
- Company：一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
- Price：応相談
