AR導光板グレーティング解析システム
AR導光板グレーティングの品質を総合的に評価できる高精度な回折計システム
種類や基板に関係なくあらゆるグレーティングサンプルを測定可能、回折格子のピッチと方向を測定、ピコメートルおよび秒角スケールの高精度で、グレーティング構造の欠陥を検出。グレーティング構造の均一性を広い領域にわたって評価できます。
- 企業:株式会社日本レーザー
- 価格:応相談
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AR導光板グレーティングの品質を総合的に評価できる高精度な回折計システム
種類や基板に関係なくあらゆるグレーティングサンプルを測定可能、回折格子のピッチと方向を測定、ピコメートルおよび秒角スケールの高精度で、グレーティング構造の欠陥を検出。グレーティング構造の均一性を広い領域にわたって評価できます。