超高精度3D計測『Gocator4000/5000シリーズ』
同軸共焦点ラインセンサー
高さによって反射する波長スペクトルの違いから、 正確に高さ計測を行う3次元共焦点ラインセンサーです。 真上からの同軸撮影で死角のない高精細な3Dデータを取得します。 ★超高精度・高速3D計測 最高X解像度1.9μm、Z解像度0.25μmで精密3D計測を行います。 最大スキャンレート10kHz以上、フルスキャンレンジでも4300Hzの高速撮影で速度が要求されるインライン検査に対応します。 ★死角のない同軸光学設計 真上からスキャンする同軸光学設計により、深い溝や突起などの凹凸の激しい形状でも高精細な3Dデータが取得できます。 最大傾斜±85度の急斜面でも高品質な3Dスキャンが可能です。 ★光沢鏡面・透明体も計測可能 光沢鏡面、透明/半透明体、柔らかい多孔質表面など様々な素材が組み合わさった表面を安定して撮像できます。 ガラスの形状計測、透明接着剤の塗布量検査、ウエハ光沢表面に見られるダイシング溝の計測などに適用できます。
- 企業：因幡電機産業株式会社 産機カンパニー
- 価格：応相談
