ウェーハベベル評価技術
感度・定量に特化したSIMS(D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立！
ウェーハベベル部の成分評価は一般的にTEMやTOF-SIMSで行われていますが、 これらの手法はいずれも感度や定量に制限があり、微量の成分評価は困難と されてきました。 今回、新たに開発した専用治具を用いることで、感度・定量に特化したSIMS (D-SIMS)にて高精度に成分評価する手法を確立しました。 ご用命の際は、当社までお気軽にお問い合わせください。 【技術概要】 ■傾けた不安定な状態の試料の位置ずれ、検出安定性の低下を 防止するために専用治具で固定 ■測定位置を高精度かつ自由度高く選択することができる ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
- 企業：東芝ナノアナリシス株式会社
- 価格：応相談
