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繰り返し位置決め精度は±0.05mm！超高負荷用ローラーガイドシステムを搭載
『TMF-6』は、シンプルかつ耐久性のある設計の 重量級ロボット走行軸です。 許容荷重最大20トン(ロボット14トン)で、モーター・減速機を 2台搭載、Fanuc製M-2000シリーズを搭載可能。 ご用命の際は当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■モーター・減速機を2台搭載 ■超高負荷用ローラーガイドシステム ■許容荷重：最大20トン(ロボット14トン) ■Fanuc製M-2000シリーズを搭載可能 ■設置床面コンクリート品質に規定有 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています
超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 ■使いやすいインターフェース 制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。 特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXYZ軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。
超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。 高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。 また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
