移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプのXYZ軸ステージです。顕微鏡との組み合わせや光透過型デバイスに最適です。
超精密位置決めピエゾステージの PK開口付きタイプXYZ軸ステージです。 ストロークが100/100/30μmから300/300/100μmまでの製品を取り揃えております。 PK開口付きタイプは移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプです。顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適です。 高速、高精度スキャニング動作で、圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能です。微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 使いやすいインターフェースで制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能です。 また、特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【XYZ軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK3L150-100UA ○PK3L150-100UA ○PK3L150-200UA ○PK3L150-300UA ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
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納期
用途／実績例
走査型プローブ顕微鏡 顕微鏡試料テーブル 分光分析機器 半導体、FPD関連装置 露光装置 マッピング測定
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
