移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ。顕微鏡や分析機器と組み合わせ、微細観察や高精度マッピング測定に適しています
超精密位置決めピエゾステージのPK開口付きタイプX軸ステージです。 ストローク30μmと100μmをご用意しております。 レーザ透過用や顕微鏡･分析機器と組み合わせた微細観察、高精度マッピング測定などに適しています。 ■高速、高精度スキャニング動作 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速・高分解能・高再現性で位置決めが可能。 微小範囲においては、ステッピングモータ式ステージに比べて速く且つ信頼性の高い動作が得られます。 ■使いやすいインターフェース 制御コントローラは、アナログ入力とデジタル入力の両インターフェースを選定でき、パソコンから簡単に位置指令が行えます。 ポイント間移動だけでなく、ラスタースキャンのような連続往復動作、真円を描くような円弧動作も可能。 特殊環境（真空・非磁性など）のご要望にも対応しますので、お気軽にご相談ください。 ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
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基本情報
【特長】 ○移動テーブルの中央に開口部（透過穴）を有するタイプ ○顕微鏡や分析機器と組み合わせて、微細観察や高精度マッピング測定に最適 ○高速、高精度スキャニング動作 ○使いやすいインターフェース ○特殊環境（真空・非磁性など）にも対応 【X軸ステージ製品ラインアップ】 ○PK1L60-030U →ストローク：30nm →分解能：1nm →繰返し精度：±1nm →共振周波数：1700Hz →本体サイズ：70×60×16nm ○PK1L45-100U →ストローク：100nm →分解能：2nm →繰返し精度：±52nm →共振周波数：230Hz →本体サイズ：45×45×20nm ※詳しくは資料をダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
走査型プローブ顕微鏡 顕微鏡試料テーブル 分光分析機器 半導体、FPD関連装置 露光装置 マッピング測定
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企業情報
ナノメートルオーダの超精密位置決めは、駆動源となる圧電アクチュエータ、機械機構、制御がシステムの中でマッチしたときに初めて実現できます。 当社はこれらの基本要素をユニット化し、ユーザが使いやすい商品にして提供していきます。
