双扉式蒸着重合装置「MDP2015」
大型基板に対応！シンプル&ハイタクトは生産性重視の樹脂性基板成膜装置！
「MDP2015」は、樹脂基板に抵抗加熱蒸着法によるアルミニウムなどのメタル膜を成膜後、腐食を防止するポリマー保護膜をプラズマ重合によりせい膜する装置です。 扉を左右に二つ設けることにより、プロセス中にワークの交換と蒸発物の装着を効率的に行えます。 装置構成の最適化により、高生産性・低ランニングコストを実現します。 【工程概要】 ■ワークを取り付け、扉を閉じて排気 ■プラズマ放電による基板表面の前処理 ■基板表面に、抵抗加熱蒸着法によるアルミの成膜 ■HMDSOのプラズマ重合による成膜で、アルミ膜を保護 ■成膜時間を利用し、待機中の扉のワークを交換 ■大気解放後に扉を開き、待機中の扉を閉じて処理開始 ●詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。
- 企業：株式会社メープル
- 価格：応相談
