フラットパネル露光装置＜超大型縦型露光＞
大型パネルのマスクの撓みを大幅に削減！！
<特徴> 大型パネルのマスクの撓みを最小限に抑えたマスク縦型の露光装置です。 多面取、大型パネルをXステップで露光。高い継ぎ精度で露光します。 マスクとパネルの精密温度制御を行い、トータルピッチを抑えた装置になっています。
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
露光装置(温度制御) - 企業1社の製品一覧
製品一覧
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中型タッチパネル/OLED露光装置
独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供！！！
<特徴> 2G～3.5Gまでの水平形露光装置をラインアップしています。 搬送は、高速シャトル搬送または、ロボット搬送にて、ハイスループットで生産に寄与します。 また、見えづらいITOマーク、メタルの被ったマークに対しても、独自の光学系と照明、、画像処理で、高いアライメント能力を提供します。 マスクとワークの温度制御にて、トータルピッチ±3-5μｍ
- 企業：株式会社清和光学製作所
- 価格：応相談
