高感度DLTSシステム DLS-1000
超高感度DLTSシステム／ バルク内欠陥・界面準位測定装置
108 cm3レベルのバルク内欠陥、界面準位の高感度な測定に対応（DLS-1000)。 又、ライブラリーを標準装備しておりますので解析が容易に行えます。 【特徴】 ●高感度な汚染検出が可能 （2x108 atoms/cm3 ）。 ●幅広いクライオスタット用のインターフェイスを装備。 ●温度、周波数スキャン、C-V特性 等の測定が可能。 ●簡単に深さ方向のプロファイル、トラップの分布状態、元素及び欠陥の特定ができ、不良及び結晶欠陥の解析に有効。（測定結果をライブラリーにある汚染物質のDLTS信号の羅列と比較することで、容易に汚染物質の特定が可能） ● 高感度アナログ／デジタル（測定はアナログ、データ処理はデジタル） ロックイン平均法を採用したユニークなシステムで、且つオペレーターフレンドリーなソフト を装備。 ●世界で100台以上の豊富な納入実績
- 企業：日本セミラボ株式会社 新横浜本社
- 価格：応相談
