極高真空計『3B-Gauge』
X線限界10-12Paの高精度イオンゲージヘッド！極高真空計
『3B-Gauge』は、熱陰極型電離真空計に存在する軟X線、電子衝撃脱離 (ESD)、 ガス放出の3つの測定限界を総合的に改善し、10-12Pa台までの圧力測定が 可能な新しいタイプの測定子です。 電極は、超低ガス放出真空構造材 0.2%BeCu 合金のコンフラット フランジ(ICF70)の中に埋め込まれ、低ガス放出化が図られています。 【特長】 ■3つの測定限界を総合的に改善 ■10-12Pa台までの圧力測定が可能 ■低ガス放出化が図られている ■フランジ材料：0.2%BeCu 合金（外観 NiPメッキ） ■電流導入端子：SUS304、Kovar真空端子 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
- 企業：東京電子株式会社
- 価格：応相談
