シミュレーションソフト(流体解析) - メーカー・企業と製品の一覧

プラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社ウェーブフロント本社
価格：100万円 ~ 500万円

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3Dプラズマシミュレーションソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は、粒子法を用いたプラズマ・希薄流体解析ソフトウェアです

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社ウェーブフロント本社
価格：100万円 ~ 500万円

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外部空力解析-超高速CFD Altair ultraFluidX

乗用車や大型車、建築物や環境の空力特性を超高速で予測するシミュレーションツール

ultraFluidXは、乗用車や大型車、建築物や環境の空力特性を超高速で予測するシミュレーションツールです。ultraFluidXを使用すれば、非常性の強い空力シミュレーションを1基のサーバーだけで一晩で完了できます。地上輸送車両、建築、エンジニアリング、建設構造から個々のアプリケーションまで、設計者はultraFluidXを用いて流体力学を理解し、革新的な構造を調査して効率を向上させ、ユーザーの快適性を高め、安全なプロジェクトを期限内に提供できます。＜導入メリット＞・忠実度の高い過渡解析の実行・短いターンアラウンド時間・大幅なコスト削減

企業：アルテアエンジニアリング株式会社
価格：応相談

熱流体解析

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中性粒子連続体モジュール（NMEM）

圧縮性と粘性を考慮した流れの計算が可能！ガス成分の種類ごとに密度と流量の空間分布が求まります

『中性粒子連続体モジュール（NMEM）』は、複数種の原子・分子（電荷を持たない粒子）からなる混合気体の流れ場を計算します。中性粒子種各成分の拡散を考慮した流体の基礎方程式を解くことにより、各成分の流量と密度を計算。この基礎方程式は気体を連続体とみなしたもののため、Kn（クヌーセン数；流れの希薄度を評価する無次元数Kn＝平均自由行程長／流れの代表長さ）がおよそKn<0.01の場合に対して適用できます。【特長】 ■ガス成分の種類ごとに密度と流量（フラックス）の空間分布が求まる ■圧縮性と粘性を考慮した流れの計算ができる ■プラズマとカップリングした計算が可能（PHMまたはPIC-MCCMとのカップリング） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：ペガサスソフトウェア株式会社
価格：応相談

シミュレーター
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Barracuda Virtual Reactor

粒子・熱・化学反応を含む3D混相流解析ソフト！流動床反応器のCO2排出を低減

当社で取り扱う『Barracuda Virtual Reactor』をご紹介します。流動床反応器に代表される流体-粒子システムを備えた工業装置の内部で生じる混相流・熱力学・化学反応の3次元過渡現象を実スケールでシミュレーションするCAEソフトウェア。物理現象を忠実に再現し、多くの分野で工業プロセス設計、スケールアップ、製品開発、トラブルシューティングにまつわるリスクを低減します。【特長】 ■パワフル、かつシンプル ■ビジネス価値の高いツール ■他のツールを補完 ■ベストクラスのサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社テラバイト
価格：応相談

熱流体解析

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【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッタ『Particle-PLUS』解析事例

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

企業：株式会社ウェーブフロント本社
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【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ）エッチングに関する『Particle-PLUS』解析事例

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCCP,マグネトロンスパッタ計算はもちろん、お客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】「Particle-PLUS」円筒型マグネトロンスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介「円筒型マグネトロン装置のプラズマスパッタリング」シミュレーション事例

長い円筒パイプの内側に強い膜を成膜する方法のひとつである円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの解析事例です Particle-PLUSで利用可能な 1)軸対称モデル 2)鏡面対称境界条件を組み合わせることで装置全体のシミュレーションを行う必要なく高速に結果を得ることができます ◇『Particle-PLUS』の特徴・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元)3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてカスタマイズも可能です ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレーションの『Particle-PLUS』解析事例

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッチングボックスを考慮しCCPプラズマシミュレーションが可能

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】『Particle-PLUS』円筒型マグネトロン装置

長い円筒の内側に強い膜を成膜する方法のひとつである、円筒標的を用いたマグネトロンスパッタの『Particle-PLUS』解析事例

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle-PLUSでは重畳2周波CCPの計算も可能です。

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネトロンスパッタ"シミュレーションが可能

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます・自社開発ソフトの強みとしてお客様の装置に合わせたカスタマイズも可能です ◆さまざまな事例に対応◆ ・マグネトロンスパッタ・PVD、プラズマCVD ・容量結合プラズマ (CCP) ・誘電体バリア放電 (DBD) ・電気泳動　など ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・ポテンシャル分布・電子・イオンの密度分布/温度分布/発生分布・壁への粒子フラックスとエネルギーフラックス・壁への電子・イオンのエネルギースペクトル・中性ガスの密度分布/温度分布/速度分布など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。

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デジタルツインには『Ansys Twin Builder』

完全なシステムシミュレーションや予測保守に向けたデジタルツインを構築、検証、展開

仮想システムのプロトタイプのモデル化、シミュレーション、および解析に対する協力なプラットフォームです。このプラットフォームにより、製品開発チームがソフトウェア制御のマルチドメインシステム設計の性能を検証および最適化することが可能になります。＜Ansysの個人情報の取り扱いについて＞登録することにより、このプライバシー通知 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/terms-and-conditions) に準拠して、この事象/資産および関連するコミュニケーションを提供する目的で、これらの条件 (https://www.ansys.com/ja-jp/legal/privacy-notice)および個人データの処理に同意したことになります。

企業：アンシス・ジャパン株式会社
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その他運用管理ソフト
その他組込み系（ソフト＆ハード）
その他生産管理システム

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晶析解析シミュレーションソフト

生産量増強・操業最適化・スケールアップ設計・コストダウン・省エネ等に！

＜gPROMS FormulatedProducts 晶析プロセスライブラリ＞生産量増強、運転改善やプロセスの最適化における様々な検討と意思決定にご利用いただけます｡晶析プロセスにおける効率的な手順（レシピ）の構築のため、以下の流れで業務を効率的に遂行し､短期間（1～2か月間程度）でこれらを達成します｡モデリング→実験→モデルの検証（パラメータ推定、バリデーション）→ プロセス最適化検討→スケールアップ検討パラメータ推定がツールで自動的に行えることが､検討期間短縮の大きな要因です。またkineticモデル（仕組みを数式で表現）であるため、パラメータの数は必要最小限です。また､冷却の温度の下げ方やパターン、種結晶を入れる量やタイミング、蒸発量や加熱のパターン等、自動でオプティマイゼーション（最適化）を行うツールは強力で､スケールアップは場合によってCFD（流体シミュレーション）と外部接続して実施します。

企業：シーメンス株式会社 gPROMS ポートフォリオ
価格：応相談

受託解析

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シミュレーションソフト(流体解析) - メーカー・企業と製品の一覧

シミュレーションソフトの製品一覧