真空排気シミュレーションなど 低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解析ソフト
DSMC-Neutrals は非構造格子を用いた3次元希薄気体解析用のソフトウェアです。 クヌーセン数が高く非平衡性が強い原子分子流れのシミュレーションを得意とします。 化学種の吸着・脱離（蒸発）も扱えるため、真空蒸着や化学蒸着の装置への適用実績が数多くあります。 また、微粒子の熱泳動、移動する壁表面での散乱、多孔質内の透過等の計算も可能となっています。 ◆さまざまな事例に対応◆ ・真空チャンバー内の希薄なガス流れシミュレーション ・半導体製造における薄膜生成のシミュレーション ・化学蒸着 (CVD)、有機EL (OLED)、分子線エピタキシー (MBE ) ・CVD のような化学反応を含む成膜シミュレーション ◆さまざまな計算結果を出力◆ ・化学反応の計算 ・アレニウス形式の反応データから化学反応を計算 ・解離・再結合・分子（原子）交換反応計算 ・GUI 上で，複数の反応式を設定も可能 ◎トライアル（試用） 有償で1ヵ月のトライアル（試用）を実施しております。 詳しくは下記の「お問い合わせ」より、お気軽にお問い合わせ下さい。
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基本情報
【特長】 ●粒子法を用いた希薄流体シミュレーションソフトウェアで，真空チャンバーを 用いる実験や装置開発に有用 ●CVD のような化学反応を含む成膜速度,成膜分布のシミュレーションが可能 ●非構造メッシュを採用しているので，実際の装置の形状そのままを 計算することが可能 ●高い並列効率から，大規模形状でも短時間で計算結果が得られます ●粒子法を採用しているため流体モデルと異なり，品質の悪い計算格子が 有っても，必ず収束解を得られます ●充実した技術サポートにより，シミュレーションが始めての方や実験で 忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 その他機能や詳細については、カタログをご覧ください。
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納期
用途／実績例
◆有機EL ( OLED ) シミュレーション ※有機ELシミュレーションにおける成膜速度の均一性、形状の最適化、成膜分布の有機材料温度依存性など ◆分子線エピタキシー ( MBE ) シミュレーション ※分子線エピタキシーシミュレーションにおける分子線セル形状、成膜分布の均一性、濃度分布の最適化など ◆シャワーヘッド型 CVD ( 化学気相成長 ) ※成膜速度の評価 ※膜の均一性の評価 ※気相中の膜成長に影響を及ぼすラジカルの分布 ※基板表面の濃度分布 ※シャワーヘッド部分からチャンバー内へ流入するガス流速や流量の評価 ◆真空ポンプの排気シミュレーション ※コンダクタンスの温度・断面積依存性、ガス溜まり・脱ガスの影響など ◆マクロパーティクル ( ダスト ) の挙動 ※チャンバー内におけるマクロパーティクルの影響など ◆極超音速希薄流 ※物体周りの密度・温度分布、化学反応の影響など ◆衝撃波 ◆ベナール対流 ◆チャンバー内のダストの挙動 ※重力を考慮する必要があるダストの，膜への影響
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企業情報
当社は、各種プラント、工場等の設備・資産を管理・運営するための「設備保全 管理システム」を開発・販売しています。 現在、このシステムは、センサー情報やタブレット端末からの入力情報等のIoT 技術および機械学習等のAI技術を利用した故障予知機能や自動スケジューリング機能を有するシステムへと大きく進化する 過程にあります。 また、最近のDXの流れの一環で、工場の製造プロセスおよび研究開発の現場での デジタル化・自動化を行い現場の作業を効率化しようという流れが強まっています。 当社もこの流れの中で、研究開発の現場の効率化を目指すソルーションであるラ ボ管理システムLIMS（Laboratory Information Management System、ワークフローとデータ追跡・データ管理・データ分析・および電子実験ノート統合などの機能を備えた、ソフ トウェア）の提供をしています。
