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安心設計・低運転音・長寿命を実現した環境対応型次世代真空ポンプ
【仕様】 ■常用真空度 推奨60kPa以下(Vタイプ) ■常用排気圧力 推奨80kPa以下(Bタイプ) ■常用圧力 推奨真空度と排気圧力の合計で60kPa以下（V・Bタイプ） ■流量 280～685L/min(60Hz) CEマーキング対応 RoHS指令標準対応 【特長】 ■安心設計・環境対応…CEマーキング対応・RoHS指令対応 ■低運転音…静音化設計により3dBの低減(当社従来比) ■長寿命…新材質ブレードの採用により30％アップ(当社従来比) 【用途】 印刷・製本機材・包装機・自動機などの真空源
台湾製真空ポンプは真空・排気とも油分を一切含みませんので作業環境および製品が油で汚染される心配はありません。
アルミハウジング、耐久性および低騒音、低振動、小型ながら高流量を実現し、オイルフリーメンテナンスフリーです。 シリンダ－内でピストンが往復運動することによって、真空用・排気用としてご利用いただけます。
業界トップクラスの基本性能
•クリーンアプリケーション用途 •長期メンテサイクル、約2年半（22,000時間）連続運転が可能 ※ACP15は20,000時間 •パーティクルレスでクリーンな排気 •空冷式：冷却水不要 ※ACP120Gのみ水冷仕様 •Heリークレート5×10-9 Pa m3/s ⇒ガス回収、ガス循環に最適 ※CPバージョンの場合 •様々なアプリケーション向けに、多彩なラインアップをご用意 1. 標準モデル：クリーンプロセス用 2. Gバージョン：腐食性ガス排気用 3. CVバージョン：水蒸気排気用 4. CPバージョン：ガス循環用 5. Rバージョン：耐放射線仕様 •多彩なオプションをご用意：パーティクルフィルター、外付けサイレンサー、低騒音カバー等 •単相/三相モーター選択可能
業界トップクラスの基本性能
A100L / A200L •ロードロック、クリーンプロセス向け トランスファーチャンバーでの使用に最適なドライポンプ •低振動、高スループット：20LのL/Lチャンバーで1時間に300回のサイクル運転可能 •高効率モーター採用による低消費電力化を実現 •コンパクト設計 設置面積 0.17m2 縦置き・横置き選択可能 •2段積み可能（吸気口向き水平のみ） A103P •ミディアムプロセス向け（エッチャー、イオン注入、PVDなど） •省エネ、省スペース A4シリーズ •マルチルーツ構造、高効率モーターよる低消費電力化を実現 •ヒーター温度制御による、副生成物の堆積物を抑制 •耐腐食用ニッケルコーティング仕様 (XNモデル)によるポンプの長寿命化 •優れたパーティクル排気能力により、プロセス装置の稼働時間を延長 •拡張されたモニタリング機能により、ポンプの状態をより適切に制御（冷却水センサー、振動ボックス等） •ホットN2により、ポンプ内部及び排気配管の詰まりを防止 •IP33、SEMI S2およびULに準拠
中古真空ドライポンプのことなら当社にお任せください
当社では、中古真空ドライポンプの売買を行っております。 試運転場を完備しておりますので、出荷前に動作確認をした上で、 製品の発送が可能。 また、半導体・液晶製造装置のメンテナンス及び部品販売・修理を手掛ける他、 管工事・電気工事、産業機械の販売、衛生環境システムの販売・メンテナンス、 部品洗浄など、様々な事業を展開しております。 【主要設備(一部)】 ■2tトラック(パワーゲート付き)：3台 ■4tトラック(パワーゲート付き)：1台 ■フォークリフト：2台 ■ポンプ試運転場 ■リークディテクター：1台 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
