半導体関連装置 バッチ式洗浄装置
5 6インチ共用カセットレス処理
架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。
- 企業:セファテクノロジー株式会社 京都事業所
- 価格:応相談
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5 6インチ共用カセットレス処理
架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。
クリーン化技術・搬送/制御 技術を駆使し、各種薬液に対応したバッチ式洗浄装置を提供いたします。
長年の経験に裏打ちされた、クリーン化技術・搬送/制御技術等を駆使し、 トータルエンジニアリング力で、お客様に最適な装置を設計・製作して参ります。 3D CADをはじめ、各種エンジニアリングツールにより、省スペースで 使い勝手の良い装置をお届いたします。 ※詳しくはPDFダウンロードまたはお問い合わせください