5,6インチ共用カセットレス処理
架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。
架台のユニット化により、現場での復帰作業の効率化を実現。装置コンフィング等の大掛かりな改造も短時間での現場工事が可能。
【特徴】 ○オートハンドラーによる枚数ロット同時処理 ○各槽温度コントロール機能付 ○鏡面反転機構 ○ハーフピッチ処理対応 ○ファイナル槽に比抵抗値モニタリング ●詳しくはお問い合わせください。
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半導体
セファテクノロジー株式会社は、産業用省力化装置の製造・販売、ソフトウェア開発等に関わる企業として、地球環境の保全が人類共通の最重要課題の一つであるととらえ、企業活動の全てについて地球環境保護に配慮した事業活動を行ない社会に貢献します。