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Sonosys

最終更新日:2026年08月24日

ティックコーポレーション株式会社 本社
ティックコーポレーション株式会社 本社
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次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに

SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム(FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター)は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲(約20%~100%)を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃~+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応(窒素冷却使用時) - PTFEコート同軸HFケーブル(3m)採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm(1MHz時)、基板の最低液層厚は約4mm

    フォトマスクその他半導体製造装置超音波洗浄機
Sonosys_FTF_Transducer_600.jpg

ソノシス社製メガソニックシステム(FTFトランスデューサー)

Sonosys_FTF_Transducer_600.jpg
Sonosys_FTF_Transducer_600.jpg
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  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/ticjapan/product/

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基本情報

モジュール型メガソニックジェネレーター(150W) - 出力電力: 150W - 出力調整範囲: 約20%~100% - 周波数: 1MHz - 電源電圧: 230VAC, 50-60Hz - 筐体: 19インチエンクロージャー(3/4U) - 寸法: 28HP; 165×185×329mm(WxHxD) - 重量: 約4.5kg - 動作温度範囲: +10℃~+40℃(結露を防ぐこと) FTFトランスデューサー - 寸法: 約164×50×34mm - 材質: PFA - トランスデューサー要素: 特殊なPZT圧電セラミック(バタフライ技術) - 変換領域: 約150×25mm - 出力: 150W / 1MHz - HFケーブル: PTFEコート同軸HFケーブル(全長3m、うち0.8mはトランスデューサーからマッチングボックスまで)

価格帯

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用途/実績例

使用用途と具体的なプロセス ウェハー洗浄 - 最大300mmのウェハーの単一プロセス洗浄が可能 - PFA製密閉型トランスデューサーをウェハーから約1.5mmの距離で設置し、高効率で均一な音波エネルギーを伝達 - 液層を保持することで微細な異物やパーティクルを除去 フォトマスクの洗浄 - 半導体製造におけるリソグラフィ工程で使用されるフォトマスクの汚れを除去し、パターンの精度を維持 - 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来システムと比較して最大40%高い音圧でより効果的な洗浄を実現 MEMSデバイスのクリーニング - 微細加工技術を用いたMEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)製品の洗浄に適用 - 非接触のメガソニック洗浄により、デバイスの損傷を最小限に抑えつつ、精密構造内の汚れを除去 ディスプレイパネル・IC基板の微粒子除去 - 液晶ディスプレイやプリント基板(PCB)、IC基板の表面処理前の洗浄 - 1MHzの高周波超音波による微粒子の効果的な除去により、製造品質を向上

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル(シングル)1~5MHz

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この製品に関するニュース(3)

メガソニック洗浄装置(シングル)

SONOSYS社製メガソニック洗浄装置 最新リーフレット公開のお知らせ

  • UPDATE
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このたび、ドイツ SONOSYS(ソノシス)社製メガソニック洗浄装置の製品リーフレットを最新版に更新いたしました。 SONOSYS社のメガソニック洗浄技術は、高周波の超音波エネルギーを純水(DI Water)などの液体を介して対象物表面へ伝達し、微細なパーティクルを効率的に除去する非接触型の精密洗浄技術です。 特に、半導体ウエハー、フォトマスク、MEMS、各種基板、光学部品など、微細構造を持つ製品の精密洗浄に適しており、半導体製造工程をはじめ、高い清浄度が求められるさまざまな分野で活用されています。 SONOSYS社では、用途や除去対象となるパーティクルに応じて複数の周波数をラインアップしているほか、Single Nozzle、Dual Nozzle、Triple Nozzleなど、多様な洗浄条件に対応するメガソニックノズルシステムを展開しています。 「ウエハーの微細パーティクルを除去したい」「フォトマスクやMEMSをダメージを抑えながら洗浄したい」「既存の洗浄工程を見直したい」といった課題をお持ちのお客様は、ぜひ最新版リーフレットをご覧ください。

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NHK番組「真相の壁」に弊社提供の半導体ウエハー洗浄動画が使用されます

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このたび、NHK番組「真相の壁」において、ティックコーポレーション株式会社が提供した半導体ウエハー洗浄の動画が使用されることとなりました。 今回のテーマは「水の真相(仮)」。 番組内では、半導体製造工程において、純水を使用してウエハーを洗浄する様子が数秒間紹介される予定です。 弊社では、半導体・電子部品分野に向けたメガソニック洗浄をはじめとする洗浄・噴霧技術を取り扱っております。 今回、弊社の映像がNHKの番組制作に活用されることを大変光栄に存じます。 放送予定:2026年9月12日(土)夜8:30~8:59(予定) 番組の詳細は、NHK「真相の壁」公式ページをご覧ください。 https://www.nhk.jp/g/ts/N8JX1V6V69/ ※放送日時・内容は変更となる場合があります。

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弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。

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この度は弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。 「Metoree(メトリー)」について メトリーはエンジニア・研究者・購買担当者の方のための産業用製品メーカー比較サイトです。 エンジニアの方が簡単に製品やメーカーを比較、選定する際に役立つ情報を提供しています。

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ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル(ネブライザー / アトマイザー) ・超音波洗浄装置(メガソニック洗浄装置) ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口(ガスカッター用ノズル) ・ガスカッター周辺機器(バルブ、レギュレーター、ホースなど) ・ラテックス テスター ・チュービングポンプ(ディスペンサー) ・シリンジポンプ

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