NHK番組「真相の壁」に弊社提供の半導体ウエハー洗浄動画が使用されます

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。　　　　 ステンレス製又はプラスチック製 (例：PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。

• CVD装置
• ＣＭＰ装置
• フォトマスク

Digital Generatorは半導体、電子部品、精密機器向けメガソニック洗浄システムに対応したデジタル制御型ジェネレーター

Sonosys Digital Generatorは、メガソニック洗浄向けに開発された次世代デジタルジェネレーターです。 400kHz～9MHzの広帯域周波数に対応し、最大35W・最小0.35Wの高精度出力制御を実現 Modbus通信による遠隔監視・遠隔制御機能を搭載し、出力、温度、運転状態をリアルタイムに可視化できます。 さらに既存のSonosysノズルとの互換性を備え、設備更新コストを抑えながらスマートファクトリー化を推進します。 半導体洗浄、電子部品洗浄、精密部品洗浄の品質向上とDX推進に貢献する革新的なソリューションです。

• ウエハー
• フォトマスク
• その他半導体製造装置

次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに

SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム（FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター）は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲（約20%～100%）を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃～+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応（窒素冷却使用時） - PTFEコート同軸HFケーブル（3m）採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm（1MHz時）、基板の最低液層厚は約4mm

• フォトマスク
• その他半導体製造装置
• 超音波洗浄機

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

水や薬剤などの液体を、まるで霧のように細かく噴霧できる装置をご存じですか？ SONOSYS（ソノシス）の超音波アトマイザーは、従来の圧縮空気式ノズルとは異なり、「超音波の力」で液体を繊細なミスト状に変えることができます。 SONOSYSの超音波アトマイザーは、次のような幅広い用途に対応しています： 製品や原材料の加湿（乾燥防止） 液体のガス置換や脱気 離型剤（型から製品をはがしやすくする液）の噴霧 混合・撹拌工程中の液体添加 消毒液の噴霧 ポイントは「空気を使わずに霧を作る」 従来の噴霧ノズルは、圧縮空気が必要だったため「音がうるさい」「エネルギーコストが高い」といった問題がありました。 しかし、超音波アトマイザーは空気を使わず、静かで省エネ。 しかも粒子が非常に細かいため、均一な加湿や噴霧が可能です。 最後に 「水や薬剤を静かに、均一にミスト化したい」「限られたスペースでも使いたい」そんなニーズをお持ちの方に、超音波アトマイザーは最適です。 工場、医療、研究、農業、様々な分野での活用が進んでいます。

• 超音波発振器
• ノズル
• コーティング機

MEMSデバイス製造の表面清浄化を、ソノシスの超音波洗浄で

MEMSデバイス製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、MEMSデバイス製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・MEMSデバイス製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

• 超音波発振器
• 超音波洗浄機
• 超音波洗浄器

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

半導体製造業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、ウェーハ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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• 超音波洗浄機
• 超音波洗浄器

光学レンズの精密洗浄を、ソノシスの超音波洗浄で

光学レンズ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。レンズ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、光学レンズ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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CMP工程のスラリー除去に、ソノシスの超音波洗浄

CMP工程では、ウェーハ表面のスラリー除去が、製品の品質に影響を与える重要なプロセスです。ウェーハ表面に残存したスラリーは、後工程での欠陥や歩留まりの低下につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、高い洗浄力と均一な洗浄を実現し、CMP工程における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・CMP工程におけるスラリー除去 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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• 超音波洗浄器

株式会社フクダは漏れ検出を追求して60年、漏れ検査（リークテスト）の未来型を追求します。 【 各種漏れ試験に対応：エアリークテスト / ガスリークテスト（水素ガス ・ ヘリウムガス） 】 気密性・密封性を検査するための漏れ試験機器を開発・製造・販売しています 検査対象ごとに適切なテスター・装置をご提案いたします 【 対象業界と検査対象例 】 ・自動車業界：エンジン、FC部品、バルブ・配管、各種部品 ・電子部品業界：スマートフォン、キーレススイッチ、各種小型センサ ・医薬品 / 食品 / 化粧品業界：ボトル容器、シリンジ、バイアル、点眼剤容器、ピロー包装、PTP包装 業界別に最適なリークテスターをご提案いたします 【 ISO認証 】JIS Q 9001:2015（ISO 9001:2015）

【フクダの技術コラム】のリンク集です。 リークテスト・漏れ検査・漏れ試験などにまつわるいろいろなこと…以下のリンクから、ぜひご覧ください。

ハイパーCLT敷板を導入するとき、「何枚用意すればいいのか」は現場面積から簡単に目安を出せます。 5×10版は約1.5m×3mで、1枚当たり約4.5平米。5×20版は約1.5m×6mで、約9平米をカバーできます。例えば180平米のスペースなら、5×10版で約40枚、5×20版なら約20枚が面積上の目安です。 ただし、実際の土木現場では全面に敷く必要がないケースもあります。車両の通行部分、重機の切り返し場所、材料ヤード、作業員通路など、必要な場所だけに木材CLTを配置すれば、導入枚数やコストを抑えられます。 また、狭い場所には5×10版、長い搬入路には5×20版など、2サイズを組み合わせる方法も有効です。 ハイパーCLT敷板は木材を活用した土木CLT資材で、国土交通省NETIS登録技術です。NETIS登録番号は「TH-250021-A」。まずは敷設したい面積を把握することが、無駄のない導入計画の第一歩です。

「オイルミスト対策で、工場の環境改善にイノベーションを起こそう」 志を高くプロジェクトを立ち上げたものの、現実は幾多の危機に直面し、不安と焦りの日々だった。 苦境に立たされながらも、常に持ち続けたもの―それは分析のプロとしての意地とプライド。 ミストコレクター“ミストリーナー”開発の中核を担った、当社分析ソリューション部高山幸司と前村篤、 営業戦略の立案・販売を担当する営業部明石営業所　藤原真哉に、 ミストリーナー開発当時の裏話、現在、今後の展開について話を聞いた。 はじめに「ミストリーナー」とは？ “ミストリーナー”とは高性能オイルミストコレクターであり、 工場での空気や製造現場での油のにおい対策、油煙対策に使用されている。 ＜主な特徴＞ (1)効果の持続性が高い (2)水溶性と油性ともに除去可能 (3)小さな粒子から大きな粒子まで除去可能 2008年販売開始から10年経過した2018年7月現在、累積販売台数は1,300台を突破。 詳細はこちらをご覧ください。 https://mono.ipros.com/product/detail/2000664593

9月に幕張メッセで開催される「第17回 高機能素材Week 内 第10回 接着・接合」に出展いたします。 機能性フィルムの成形加工技術や材料、表面処理・評価に関心のある幅広い分野の専門家が集まる本展示会で、当社はUV照射器の実機展示を中心にご紹介します。 フィルムメーカーの技術部門、エレクトロニクス、自動車、電池、建築・建材、食品・飲料など、機能性フィルムや表面処理に関わる技術者・研究者・購買担当者 の皆さまに特に有益な内容となっております。 商談や技術相談の場としてもご活用ください。 【出展内容】 当社ブースでは、LEDおよびエキシマ光源の紫外線（UV）照明器を幅広く展示します。 フィルムの表面処理、製造工程におけるUVの活用、各種評価用途など、目的や条件に応じた照射器をご紹介します。 また、実機を用いたデモンストレーションを実施し、実際の照射イメージをご確認いただきながら、用途に適したUV照射器をご提案します。 皆さまのご来場を心よりお待ちしております。 ご来場を予定されている方や、事前にご相談がある方は、お問い合わせフォームまたは弊社担当営業までお気軽にご連絡ください。