NHK番組「真相の館」に弊社提供の半導体ウエハー洗浄動画が使用されます

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。　　　　 ステンレス製又はプラスチック製 (例：PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。

• CVD装置
• ＣＭＰ装置
• フォトマスク

Digital Generatorは半導体、電子部品、精密機器向けメガソニック洗浄システムに対応したデジタル制御型ジェネレーター

Sonosys Digital Generatorは、メガソニック洗浄向けに開発された次世代デジタルジェネレーターです。 400kHz～9MHzの広帯域周波数に対応し、最大35W・最小0.35Wの高精度出力制御を実現 Modbus通信による遠隔監視・遠隔制御機能を搭載し、出力、温度、運転状態をリアルタイムに可視化できます。 さらに既存のSonosysノズルとの互換性を備え、設備更新コストを抑えながらスマートファクトリー化を推進します。 半導体洗浄、電子部品洗浄、精密部品洗浄の品質向上とDX推進に貢献する革新的なソリューションです。

• ウエハー
• フォトマスク
• その他半導体製造装置

次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに

SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム（FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター）は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲（約20%～100%）を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃～+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応（窒素冷却使用時） - PTFEコート同軸HFケーブル（3m）採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm（1MHz時）、基板の最低液層厚は約4mm

• フォトマスク
• その他半導体製造装置
• 超音波洗浄機

レヒラー社のノズル技術とソノシス社の超音波技術のコラボ商品

水や薬剤などの液体を、まるで霧のように細かく噴霧できる装置をご存じですか？ SONOSYS（ソノシス）の超音波アトマイザーは、従来の圧縮空気式ノズルとは異なり、「超音波の力」で液体を繊細なミスト状に変えることができます。 SONOSYSの超音波アトマイザーは、次のような幅広い用途に対応しています： 製品や原材料の加湿（乾燥防止） 液体のガス置換や脱気 離型剤（型から製品をはがしやすくする液）の噴霧 混合・撹拌工程中の液体添加 消毒液の噴霧 ポイントは「空気を使わずに霧を作る」 従来の噴霧ノズルは、圧縮空気が必要だったため「音がうるさい」「エネルギーコストが高い」といった問題がありました。 しかし、超音波アトマイザーは空気を使わず、静かで省エネ。 しかも粒子が非常に細かいため、均一な加湿や噴霧が可能です。 最後に 「水や薬剤を静かに、均一にミスト化したい」「限られたスペースでも使いたい」そんなニーズをお持ちの方に、超音波アトマイザーは最適です。 工場、医療、研究、農業、様々な分野での活用が進んでいます。

• 超音波発振器
• ノズル
• コーティング機

MEMSデバイス製造の表面清浄化を、ソノシスの超音波洗浄で

MEMSデバイス製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、MEMSデバイス製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・MEMSデバイス製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

• 超音波発振器
• 超音波洗浄機
• 超音波洗浄器

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

半導体製造業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、ウェーハ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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• 超音波洗浄機
• 超音波洗浄器

光学レンズの精密洗浄を、ソノシスの超音波洗浄で

光学レンズ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。レンズ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、光学レンズ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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CMP工程のスラリー除去に、ソノシスの超音波洗浄

CMP工程では、ウェーハ表面のスラリー除去が、製品の品質に影響を与える重要なプロセスです。ウェーハ表面に残存したスラリーは、後工程での欠陥や歩留まりの低下につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、高い洗浄力と均一な洗浄を実現し、CMP工程における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・CMP工程におけるスラリー除去 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

• 超音波発振器
• 超音波洗浄機
• 超音波洗浄器

ハイパーCLT敷板のホームページに、新たに**「よくある質問 Q&A」**を追加しました。 「どんな土木現場で使えるのか」「雨の日でも使用できるのか」「大型重機には対応できるのか」「NETISとは何か」など、導入を検討される方から多く寄せられる疑問を分かりやすくまとめています。 ハイパーCLT敷板は、木材CLTを活用した木製軽量敷板で、仮設道路や搬入路、重機作業ヤードなど幅広い用途で使用できます。また、**国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」**として登録されています。 新しい資材だからこそ、分からないことをそのままにしない。木材、NETIS、土木、CLTに関する情報も含め、導入前の疑問を解消しやすいホームページを目指して、今後もQ&Aを充実させていきます。

ハイパーCLT敷板のホームページに、新しく**「用語集」**を追加しました。 土木や建設業界には、「CLT」「NETIS」「仮設道路」「木製軽量敷板」など、専門的な言葉が数多くあります。そこで、初めてハイパーCLT敷板を知った方にも製品や技術を理解していただけるよう、関連する用語を分かりやすく紹介しています。 ハイパーCLT敷板は、木材CLTを活用した土木用の木製軽量敷板で、**国土交通省NETIS登録技術「TH-250021-A」**です。 製品の特徴を伝えるだけでなく、その背景にある技術や言葉まで知ってもらうことで、ハイパーCLT敷板をより身近に感じていただきたいと考えています。 これからもホームページを充実させ、木材、NETIS、土木、CLTに関する情報を分かりやすく発信していきます。

FPC表面の微小な異物を、三次元形状から検出。 SinceVisionの3Dレーザープロファイラ「SR7140」を用いた、スマートフォン内部フレームのFPC検査事例をご紹介します。 ■異物の有無と大きさを検査 レーザーで取得した輪郭データから、表面の突起を検出。高さと面積のしきい値を設定し、異物を抽出します。 ■微小な異物を捉える 本事例では、最小0.5×0.5×0.3mmの異物を検出可能。評価時のスキャン時間は6.5秒です。 ■点群で検出箇所を可視化 対象物の短辺に沿って走査し、2回目の走査ではセンサーを回転。三次元点群と検出結果から、異物の位置や形状を確認できます。 ※記載値は本事例の評価条件に基づきます。対象物や検査条件により結果は異なります。 詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お問い合わせください。

■ 製品の特長 100%バイオマス製 5枚で一輪の桜になるデザイン 花びら形の小皿を並べると一輪の桜が完成します。1枚ずつでも、組み合わせても使えます。 箸置き不要の切りかけデザイン 花びらの切れ込みに箸を置けるため、箸置きが要りません。 食洗機対応 繰り返し使える日用食器として設計しています。 ギフト・ノベルティに 写真映えする色と形で、贈答品やSNS発信にも適しています。 ■ 仕様 項目内容 素材100%バイオマス製 サイズ14cm × 10.5cm × 1.5cm 色展開ピンク / グレー / ホワイト 生産国日本（自社工場にて射出成形） ■ 実績 2025年の大阪・関西万博「大阪ヘルスケアパビリオン」に出展いたしました。 ■ 成形加工・OEMのご相談も承ります 当社は創業107年の射出成形メーカーです。生分解性樹脂による食器・カトラリー・パッケージ部材の試作や量産、オリジナル形状での製品化もご相談ください。

カメラ支持部品のわずかな高さのばらつきを、非接触で数値化。 SinceVisionの一体型レーザー変位センサ「SGI030」を用いた、スマートフォンのカメラ支持部品の平面度測定事例をご紹介します。 ■複数点の高さから平面度を算出 対象面の複数点をレーザー三角測量で測定。取得した距離データを測定ソフトウェアで処理し、平面のフィッティングと平面度誤差の算出を行います。 ■しきい値に基づく合否判定 算出した平面度誤差を設定値と比較し、良否を判定。目視による主観的な判断を抑え、製造工程の品質管理を支援します。 ■10回の動的測定で繰り返し性を評価 本事例では10kHzでサンプリングを実施。各試料の測定値の最大値と最小値の差は、最大0.0091mm（9.1μm）となり、要求値10μmを満たしました。 ※結果は本事例の測定条件に基づき、センサ単体の仕様値とは異なります。 詳細は関連リンクをご覧ください。