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Sonosys

最終更新日:2026年10月01日

ティックコーポレーション株式会社 本社
ティックコーポレーション株式会社 本社
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Digital Generatorは半導体、電子部品、精密機器向けメガソニック洗浄システムに対応したデジタル制御型ジェネレーター

Sonosys Digital Generatorは、メガソニック洗浄向けに開発された次世代デジタルジェネレーターです。 400kHz~9MHzの広帯域周波数に対応し、最大35W・最小0.35Wの高精度出力制御を実現 Modbus通信による遠隔監視・遠隔制御機能を搭載し、出力、温度、運転状態をリアルタイムに可視化できます。 さらに既存のSonosysノズルとの互換性を備え、設備更新コストを抑えながらスマートファクトリー化を推進します。 半導体洗浄、電子部品洗浄、精密部品洗浄の品質向上とDX推進に貢献する革新的なソリューションです。

    ウエハーフォトマスクその他半導体製造装置
Digital-generator-MLM-front.jpg

ソノシス社製デジタル発信機(次世代型)

Digital-generator-MLM-front.jpg
Digital-generator-MLM-front.jpg Digital-Generator-MLM-Rueckseite.jpg
  • 関連リンク - https://www.youtube.com/watch?v=h4UrtwXcJUU
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/ticjapan/product/

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基本情報

Sonosys Digital Generator 仕様・スペック 周波数範囲:400kHz~9MHz 最大出力:35W 最小出力:0.35W デジタル制御方式採用 Modbusプロトコルによる遠隔出力制御対応 各モジュールごとの出力調整が可能 周波数およびデューティサイクル制御対応 ローカル操作・リモート操作対応 LCDパネル搭載 出力・温度・動作状態のリアルタイム表示 専用アプリによる設定・パラメータ管理・監視機能 ドライラン検知機能搭載 コンパクト設計による省スペース化 19インチラック対応モジュール構造 既存Sonosysノズルとの互換性あり 設置・保守作業を容易にするモジュラー設計

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用途/実績例

半導体、電子部品、光学部品、医療機器などの高精度メガソニック洗浄用途

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メガソニック洗浄の精度と管理性を向上させる次世代デジタルジェネレーター シングルノズルタイプ

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メガソニック洗浄の精度と管理性を向上させる次世代デジタルジェネレーター デュアルノズルタイプ

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 6インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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【Sonosys】(事例)超音波スプレーノズル 不織布塗布ラインの改良

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル トリプル(ノズル3個付きタイプ)

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この製品に関するニュース(3)

SONOSYSメガソニック洗浄ノズルシステム 製品ページ公開のお知らせ|半導体・MEMSの精密洗浄

  • 企業ニュース

このたび、ティックコーポレーション株式会社では、SONOSYS(ソノシス)社製 メガソニック洗浄ノズルシステムの製品紹介ページを公開しました。 SONOSYSのメガソニック洗浄技術は、600kHz~9MHzの高周波エネルギーを利用し、半導体ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの微細構造へのダメージを抑えながら、微細なパーティクルを除去する精密洗浄技術です。 新ページでは、シングル・ダブル・トリプルノズルの特長や、半導体、MEMS、光学部品、LCD・FPD基板などへの用途をご紹介しています。 微細パーティクル除去、超純水(DI Water)を使用した精密洗浄、600kHz・1MHzなどのメガソニック洗浄をご検討の方は、ぜひご覧ください。

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NHK番組「真相の館」に弊社提供の半導体ウエハー洗浄動画が使用されます

  • 企業ニュース

このたび、NHK番組「真相の館」において、ティックコーポレーション株式会社が提供した半導体ウエハー洗浄の動画が使用されることとなりました。 今回のテーマは「水の真相(仮)」。 番組内では、半導体製造工程において、純水を使用してウエハーを洗浄する様子が数秒間紹介される予定です。 弊社では、半導体・電子部品分野に向けたメガソニック洗浄をはじめとする洗浄・噴霧技術を取り扱っております。 今回、弊社の映像がNHKの番組制作に活用されることを大変光栄に存じます。 放送予定:2026年9月12日(土)夜8:30~8:59(予定) 番組の詳細は、NHK「真相の館」公式ページをご覧ください。 https://www.nhk.jp/g/ts/N8JX1V6V69/ ※放送日時・内容は変更となる場合があります。

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メガソニック洗浄装置(シングル)

SONOSYS社製メガソニック洗浄装置 最新リーフレット公開のお知らせ

  • カタログニュース

このたび、ドイツ SONOSYS(ソノシス)社製メガソニック洗浄装置の製品リーフレットを最新版に更新いたしました。 SONOSYS社のメガソニック洗浄技術は、高周波の超音波エネルギーを純水(DI Water)などの液体を介して対象物表面へ伝達し、微細なパーティクルを効率的に除去する非接触型の精密洗浄技術です。 特に、半導体ウエハー、フォトマスク、MEMS、各種基板、光学部品など、微細構造を持つ製品の精密洗浄に適しており、半導体製造工程をはじめ、高い清浄度が求められるさまざまな分野で活用されています。 SONOSYS社では、用途や除去対象となるパーティクルに応じて複数の周波数をラインアップしているほか、Single Nozzle、Dual Nozzle、Triple Nozzleなど、多様な洗浄条件に対応するメガソニックノズルシステムを展開しています。 「ウエハーの微細パーティクルを除去したい」「フォトマスクやMEMSをダメージを抑えながら洗浄したい」「既存の洗浄工程を見直したい」といった課題をお持ちのお客様は、ぜひ最新版リーフレットをご覧ください。

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ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル(ネブライザー / アトマイザー) ・超音波洗浄装置(メガソニック洗浄装置) ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口(ガスカッター用ノズル) ・ガスカッター周辺機器(バルブ、レギュレーター、ホースなど) ・ラテックス テスター ・チュービングポンプ(ディスペンサー) ・シリンジポンプ

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