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超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄)

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Sonosys(ソノシス)

最終更新日:2026年04月14日

ティックコーポレーション株式会社 本社
ティックコーポレーション株式会社 本社
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最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。     ステンレス製又はプラスチック製 (例:PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。

    CVD装置CMP装置フォトマスク
ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg

超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄)

ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg
ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg 超音波洗浄装置(バス・タンク式).jpeg Triple-nozzle-ecf5619c.jpg
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半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄 

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超音波洗浄スプレーノズル(シングル)1~5MHz

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超音波洗浄スプレーノズル シングル (600kHz)

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超音波洗浄スプレーノズル デュエル(ノズル2個付きタイプ)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 6インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 6インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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【Lechler Sonosys】(事例)半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル

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【Sonosys】(事例)超音波スプレーノズル 不織布塗布ラインの改良

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【Sonosys】ソノシス社会社概要(超音波洗浄装置)

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この製品に関するニュース(8)

超音波スプレーノズルメーカー「Sonaer」社HPがリニューアルしました

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超音波スプレーノズルメーカー「Sonaer(ソニア)」社のHPが新しくなりました。 以前のHPに比べて商品閲覧、そして新たにシステムの提供も開始しました。 ご興味が御座いましたら弊社までお気軽にお問合せください。

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弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。

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この度は弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。 「Metoree(メトリー)」について メトリーはエンジニア・研究者・購買担当者の方のための産業用製品メーカー比較サイトです。 エンジニアの方が簡単に製品やメーカーを比較、選定する際に役立つ情報を提供しています。

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ソノシス社製メガソニックシステム(FTFトランスデューサー)のリーフレットが完成しました

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SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム(FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター)は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 使用用途と具体的なプロセス ウェハー洗浄 フォトマスクの洗浄 MEMSデバイスのクリーニング ディスプレイパネル・IC基板の微粒子除去 詳細はリーフレットをご参照ください。

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【Sonosys】インターフェース1月号に超音波洗浄装置の記事が掲載されました

  • 製品ニュース

トランジスタ技術12月号に続き、インターフェース1月号にソノシス社製超音波洗浄装置の記事が掲載されました

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ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル(ネブライザー / アトマイザー) ・超音波洗浄装置 ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口(ガスカッター用ノズル) ・ラテックス テスター ・チュービングポンプ(ディスペンサー) ・シリンジポンプ

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