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超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄)

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Sonosys(ソノシス)

最終更新日:2026年08月24日

ティックコーポレーション株式会社 本社
ティックコーポレーション株式会社 本社
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最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。     ステンレス製又はプラスチック製 (例:PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。

    CVD装置CMP装置フォトマスク
ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg

超音波メガソニック洗浄装置(枚葉洗浄 / バス・タンク式洗浄)

ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg
ソノシス社製超音波洗浄スプレーノズル(枚葉洗浄).jpeg 超音波洗浄装置(バス・タンク式).jpeg Triple-nozzle-ecf5619c.jpg
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半導体用ウェーハ、フォトマスク、MEMSなどの洗浄 

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル(シングル)1~5MHz

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル シングル (600kHz)

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル デュエル(ノズル2個付きタイプ)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 6インチ基板用ジェネレーター (PVDF製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 4インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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超音波洗浄装置(バス・タンク式洗浄) 6インチ基板用ジェネレーター (ステンレス製)

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【Sonosys】ソノシス社会社概要(超音波洗浄装置)

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【Sonosys】(事例)超音波スプレーノズル 不織布塗布ラインの改良

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メガソニック洗浄の精度と管理性を向上させる次世代デジタルジェネレーター シングルノズルタイプ

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メガソニック洗浄の精度と管理性を向上させる次世代デジタルジェネレーター デュアルノズルタイプ

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【Lechler Sonosys】(事例)半導体装置向けスプレーノズル及び超音波スプレーノズル

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メガソニック超音波洗浄スプレーノズル トリプル(ノズル3個付きタイプ)

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この製品に関するニュース(10)

メガソニック洗浄装置(シングル)

SONOSYS社製メガソニック洗浄装置 最新リーフレット公開のお知らせ

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このたび、ドイツ SONOSYS(ソノシス)社製メガソニック洗浄装置の製品リーフレットを最新版に更新いたしました。 SONOSYS社のメガソニック洗浄技術は、高周波の超音波エネルギーを純水(DI Water)などの液体を介して対象物表面へ伝達し、微細なパーティクルを効率的に除去する非接触型の精密洗浄技術です。 特に、半導体ウエハー、フォトマスク、MEMS、各種基板、光学部品など、微細構造を持つ製品の精密洗浄に適しており、半導体製造工程をはじめ、高い清浄度が求められるさまざまな分野で活用されています。 SONOSYS社では、用途や除去対象となるパーティクルに応じて複数の周波数をラインアップしているほか、Single Nozzle、Dual Nozzle、Triple Nozzleなど、多様な洗浄条件に対応するメガソニックノズルシステムを展開しています。 「ウエハーの微細パーティクルを除去したい」「フォトマスクやMEMSをダメージを抑えながら洗浄したい」「既存の洗浄工程を見直したい」といった課題をお持ちのお客様は、ぜひ最新版リーフレットをご覧ください。

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NHK番組「真相の壁」に弊社提供の半導体ウエハー洗浄動画が使用されます

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このたび、NHK番組「真相の壁」において、ティックコーポレーション株式会社が提供した半導体ウエハー洗浄の動画が使用されることとなりました。 今回のテーマは「水の真相(仮)」。 番組内では、半導体製造工程において、純水を使用してウエハーを洗浄する様子が数秒間紹介される予定です。 弊社では、半導体・電子部品分野に向けたメガソニック洗浄をはじめとする洗浄・噴霧技術を取り扱っております。 今回、弊社の映像がNHKの番組制作に活用されることを大変光栄に存じます。 放送予定:2026年9月12日(土)夜8:30~8:59(予定) 番組の詳細は、NHK「真相の壁」公式ページをご覧ください。 https://www.nhk.jp/g/ts/N8JX1V6V69/ ※放送日時・内容は変更となる場合があります。

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超音波スプレーノズルメーカー「Sonaer」社HPがリニューアルしました

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超音波スプレーノズルメーカー「Sonaer(ソニア)」社のHPが新しくなりました。 以前のHPに比べて商品閲覧、そして新たにシステムの提供も開始しました。 ご興味が御座いましたら弊社までお気軽にお問合せください。

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弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。

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この度は弊社取扱いレヒラー社製エアーノズル、タンク洗浄ノズル、ソニア社製超音波スプレーノズル及びソニック社製ブロワー及びエアーナイフ(乾燥装置)が産業用製品・メーカー情報比較サイト「メトリー」で紹介されました。 「Metoree(メトリー)」について メトリーはエンジニア・研究者・購買担当者の方のための産業用製品メーカー比較サイトです。 エンジニアの方が簡単に製品やメーカーを比較、選定する際に役立つ情報を提供しています。

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ティックコーポレーション株式会社

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ティックコーポレーションは、生産効率の改善・経費効率の向上・品質の向上・環境保全への配慮など企業が直面する諸問題の解決に寄与する製品を提供することをモットーに広く世界から製品情報を収集し、市場のニーズに応える製品を提供してまいりました。 今後も合理化に寄与する製品や近年特に厳しくなっている環境保全に寄与する製品を開発し、お届けできるよう努力してゆく所存です。 ◇◆主な取扱商品◇◆ ・精密工業用スプレーノズル ・農業用スプレーノズル ・エアーノズル / エアーナイフ ・特殊スプレーノズル ・タンク洗浄ノズル ・ブロワー ・超音波スプレーノズル(ネブライザー / アトマイザー) ・超音波洗浄装置(メガソニック洗浄装置) ・空気搬送装置 ・ベンチレーター ・プラスチックコネクター ・切断火口(ガスカッター用ノズル) ・ガスカッター周辺機器(バルブ、レギュレーター、ホースなど) ・ラテックス テスター ・チュービングポンプ(ディスペンサー) ・シリンジポンプ

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