SONOSYS社製メガソニック洗浄装置 最新リーフレット公開のお知らせ

最新の超音波洗浄はソノシスにお任せください

超音波洗浄スプレーノズル 非接触単一基板の洗浄にはシングルノズル、デュアルノズル、トリプルチャネルのいずれか、および周波数の任意の組み合わせを備えた600kHz から最大9MHzまでのメガソニックノズルがございます。 このメガソニックノズルのトランスデューサーはメガソニックを生成し流体(純水など)を通してメガソニックを基盤の表面に送り洗浄します。 メガソニック浸水型トランスデューサー 周波数が400kHz/600kHz/1MHz/2MHzのメガソニック浸水型トランスデューサーです。　　　　 ステンレス製又はプラスチック製 (例：PP、PVDFまたはPFA)の密閉されたトランスデューサーを既存タンクの底部又は、側面に設置します。 4"、6"および8"の基板サイズの標準システムに加え、特注で浸水型トランスデューサーも可能です。 非常に順応性の高い構成によりメガソニックシステムをバス・タンク式洗浄の工程に使用することで費用対効果の向上を可能にします。 周波数は400kHz, 600kHz, 1MHz と2MHzをご用意しております。

• CVD装置
• ＣＭＰ装置
• フォトマスク

Digital Generatorは半導体、電子部品、精密機器向けメガソニック洗浄システムに対応したデジタル制御型ジェネレーター

Sonosys Digital Generatorは、メガソニック洗浄向けに開発された次世代デジタルジェネレーターです。 400kHz～9MHzの広帯域周波数に対応し、最大35W・最小0.35Wの高精度出力制御を実現 Modbus通信による遠隔監視・遠隔制御機能を搭載し、出力、温度、運転状態をリアルタイムに可視化できます。 さらに既存のSonosysノズルとの互換性を備え、設備更新コストを抑えながらスマートファクトリー化を推進します。 半導体洗浄、電子部品洗浄、精密部品洗浄の品質向上とDX推進に貢献する革新的なソリューションです。

• ウエハー
• フォトマスク
• その他半導体製造装置

次世代メガソニック技術で最大300mmウェハーも一瞬でクリアに

SONOSYS社製1MHzメガソニックシステム（FTFトランスデューサー & MGHジェネレーター）は、単一基板の洗浄プロセスを最適化する高性能システムです。 主な特長を以下の通りです。 - 高精度洗浄: PFA製の密閉型トランスデューサーが基板から約1.5mmの距離で設置され、メガソニックエネルギーを均一に伝達 - 特許技術採用: 「バタフライ圧電セラミック」技術により、従来のシステムと比較して最大40%高い音圧、最大30%高い効率を実現 - シングルプロセス対応: 最大300mmの基板やウェハーの洗浄に適用可能 - 高出力仕様: 150Wの出力調整範囲（約20%～100%）を持ち、1MHzの超音波を活用 - 安定した動作環境: 筐体は19インチエンクロージャーでコンパクトな設計 - 動作温度範囲は+10℃～+40℃ - 耐久性と適応性: 最大+80℃までの液体温度に対応（窒素冷却使用時） - PTFEコート同軸HFケーブル（3m）採用 - 精密設計: 設置距離は約1.5mm（1MHz時）、基板の最低液層厚は約4mm

• フォトマスク
• その他半導体製造装置
• 超音波洗浄機

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

半導体業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、ウェーハ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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MEMSデバイス製造の表面清浄化を、ソノシスの超音波洗浄で

MEMSデバイス製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、MEMSデバイス製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・MEMSデバイス製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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• 超音波洗浄器

ウェーハ洗浄の課題を解決する、ソノシスの超音波洗浄

半導体製造業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、ウェーハ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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光学レンズの精密洗浄を、ソノシスの超音波洗浄で

光学レンズ製造においては、微細な異物や残留物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。レンズ表面のわずかな汚れが、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、高い洗浄力と均一な洗浄を実現することで、光学レンズ製造における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・光学レンズ製造工程における異物除去 ・精密部品の洗浄 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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CMP工程のスラリー除去に、ソノシスの超音波洗浄

CMP工程では、ウェーハ表面のスラリー除去が、製品の品質に影響を与える重要なプロセスです。ウェーハ表面に残存したスラリーは、後工程での欠陥や歩留まりの低下につながる可能性があります。ソノシスの超音波メガソニック洗浄装置は、高い洗浄力と均一な洗浄を実現し、CMP工程における品質向上に貢献します。 【活用シーン】 ・CMP工程におけるスラリー除去 ・ウェーハ製造工程における異物除去 ・薬液洗浄後のリンス工程 【導入の効果】 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善

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ウェーハの微細な汚れを徹底除去。ソノシスが実現する高品質洗浄。

半導体業界、特にウェーハ製造においては、微細な異物の除去が製品の品質を左右する重要な課題です。ウェーハ表面に付着した微細なパーティクルや有機物は、デバイスの性能低下や歩留まりの悪化を引き起こす可能性があります。当社の超音波メガソニック洗浄装置は、これらの課題に対し、メガソニック技術を用いてウェーハ表面の汚れを効果的に除去します。これにより、高品質な半導体製品の製造を支援します。 【活用シーン】 ・ウェーハ製造工程における洗浄 ・微細な異物や有機物の除去 ・高品質な半導体製品の製造 【導入の効果】 ・洗浄品質の向上 ・歩留まりの改善 ・製品の信頼性向上

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プリズムの精密洗浄に。ソノシスの超音波洗浄装置。

光学業界では、プリズムの品質を左右する精密な洗浄が求められます。 特に、微細な埃や油膜の除去は、光の透過率や屈折率に影響を与え、製品の性能を低下させる可能性があります。 当社の超音波メガソニック洗浄装置は、プリズムの表面に付着した微細な汚れを、メガソニックの力で徹底的に除去し、高品質な製品作りに貢献します。 【活用シーン】 ・プリズム製造工程における洗浄 ・光学レンズの洗浄 ・精密部品の洗浄 【導入の効果】 ・高い洗浄力で、製品の品質向上 ・洗浄時間の短縮 ・洗浄コストの削減

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ハイパーCLT敷板を導入するとき、「何枚用意すればいいのか」は現場面積から簡単に目安を出せます。 5×10版は約1.5m×3mで、1枚当たり約4.5平米。5×20版は約1.5m×6mで、約9平米をカバーできます。例えば180平米のスペースなら、5×10版で約40枚、5×20版なら約20枚が面積上の目安です。 ただし、実際の土木現場では全面に敷く必要がないケースもあります。車両の通行部分、重機の切り返し場所、材料ヤード、作業員通路など、必要な場所だけに木材CLTを配置すれば、導入枚数やコストを抑えられます。 また、狭い場所には5×10版、長い搬入路には5×20版など、2サイズを組み合わせる方法も有効です。 ハイパーCLT敷板は木材を活用した土木CLT資材で、国土交通省NETIS登録技術です。NETIS登録番号は「TH-250021-A」。まずは敷設したい面積を把握することが、無駄のない導入計画の第一歩です。

「オイルミスト対策で、工場の環境改善にイノベーションを起こそう」 志を高くプロジェクトを立ち上げたものの、現実は幾多の危機に直面し、不安と焦りの日々だった。 苦境に立たされながらも、常に持ち続けたもの―それは分析のプロとしての意地とプライド。 ミストコレクター“ミストリーナー”開発の中核を担った、当社分析ソリューション部高山幸司と前村篤、 営業戦略の立案・販売を担当する営業部明石営業所　藤原真哉に、 ミストリーナー開発当時の裏話、現在、今後の展開について話を聞いた。 はじめに「ミストリーナー」とは？ “ミストリーナー”とは高性能オイルミストコレクターであり、 工場での空気や製造現場での油のにおい対策、油煙対策に使用されている。 ＜主な特徴＞ (1)効果の持続性が高い (2)水溶性と油性ともに除去可能 (3)小さな粒子から大きな粒子まで除去可能 2008年販売開始から10年経過した2018年7月現在、累積販売台数は1,300台を突破。 詳細はこちらをご覧ください。 https://mono.ipros.com/product/detail/2000664593

システム導入で重視するのは要求事項を満足する機能があること。 しかし、それだけでしょうか。 システム導入では、システム構築だけでなく、バックアップ、ディザスタリカバリ、障害対策、運用、そしてバリデーション等の検討・設計が必要になります。自社でサーバを保有する場合は、保守や5年ごとのサーバ更新も考慮しなければなりません。当然、相応の人員、時間を要し、コストが発生します。 全てを自社の責任において実現するのは負担がかなり大きくなります。 この課題を解決する手段として、クラウドサービスを活用し、システムを作らない/持たない方法があります。 当社のPerma Documentは、システム導入・運用で必要な事項をオールインワンで提供するクラウドサービスです。このため、低コスト、短期間で導入・運用開始できます。 ユーザ自身が行うバリデーション全般に関しては、実施を支援するサービスを提供しており、システムやバリデーションに不慣れであっても容易に導入することが可能です。 ご興味のある方はカタログP2をご覧ください。 またさらに詳細な情報が必要な場合はお問い合わせください。

金属のクラック（き裂）は、設備保全業務の悩みのひとつ。一般的な溶接工法による補修では、熱によってクラック周辺の母材が変化し、残留応力やひずみが発生するため、「クラック再発」や「二次損傷」を誘発するリスクを常に抱えていました。 日之出水道機器(株)「メカニカルスティッチ工法」は、熱を加えずに金属クラック補修が可能な新工法です。 特殊ボルトと補強プレートを使用しクラックを物理的に除去し、母材に熱影響を一切与えずに補修致します。 火気が使用できない環境でも補修できます。熱を加えないことから設備の分解が最小限に抑えられます。 ◎詳しくはお問合せ、もしくはカタログをダウンロードして下さい。

●鋳造試作品の製作日数が短縮できます！ 模型製作が不要のため、これまで約1ヶ月必要であった試作品の製作日数を大幅に短縮が可能です。 ●模型費用が削減できます！ ３Dデータから直接砂型を製作するため、模型製作費用が不要です。模型の変更が必要な場合も３Dデータの修正で対応可能です。 ●形状・寸法違いの類似品を同時に試作できます！ １回の造型で類似形状や寸法違い等、異なる製品を同時に造型。短期間で多種類の検証が可能です。