高精度な回転機構
高精度な回転機構により高速で正確な処理が行えます。
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基本情報
【特長】 ○処理チャンバー構造と高精度な回転機構により大面積均一処理を実現 ○フレッシュな薬液使用により超精密洗浄が可能 ○処理薬液の回収／再使用が行え、ランニングコストの縮小に貢献 ○処理能力と装置専有床面積の両立を図ったコンパクト化を実現 ○純水／薬液などの使用量の削減に貢献 ●その他機能や詳細については、カタログをご覧いただくか、お問い合わせください。
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企業情報
セファテクノロジー株式会社は、産業用省力化装置の製造・販売、ソフトウェア開発等に関わる企業として、地球環境の保全が人類共通の最重要課題の一つであるととらえ、企業活動の全てについて地球環境保護に配慮した事業活動を行ない社会に貢献します。
