フローメータのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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フローメータ(計測) - メーカー・企業と製品の一覧

更新日: 集計期間:2026年01月14日~2026年02月10日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

フローメータの製品一覧

1~30 件を表示 / 全 34 件

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液体用マスフローメータ LM-3000L series

各種液体流量を精密計測します

0.01〜20g/min (C2H5OH換算) の計測が可能です。液体は、ステンレスを腐食しないものであれば何でもOKです。コントロールバルブ(当社CVシリーズ)と接続する事により、液体マスフローコントローラとしても使用可能です。 【特長】 ○各種液体材料の高精度流量計測を実現 ○リンテック社独自の熱式マスフローセンサ(特許出願中)採用、   電子回路はデジタル化され、高速、高精度の流量計測が可能 ○コントロールバルブとの組合せにより、高精度の流量制御が可能 ○リンテック社独自の気化器との組合せにより、   高速、高精度の液体気化供給が可能 ○RoHS指令準拠 ※その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

  • 配管材
  • 真空機器
  • 流量制御
  • フローメータ

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マルチフローメータ『MODEL RK140X SERIES』

±2%F.S.以下の高精度な計測が可能!最大流量5mL/min~20L/minのマルチフローメータ

『MODEL RK140X SERIES』は、微少流量から対応するマルチフローメータです。 1台で2~4ラインのガスの計測制御が可能。±2%F.S.以下の高精度な計測が 行えるほか、スタンド取付もできます。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体となっております。 【特長】 ■1台で2~4ラインのガスの計測制御が可能 ■スタンド取付可能 ■微少流量から対応 ■±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マルチフローメータ『MODEL RK120X SERIES』

1台で2~4ラインのガスの計測制御が可能!微少流量から対応するマルチフローメータ

『MODEL RK120X SERIES』は、スタンド取付ができるニードルバルブ付 マルチフローメータです。 1台で2~4ラインのガスの計測制御が可能。±2%F.S.以下の高精度な 計測が行えます。 また、非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有します。 【特長】 ■スタンド取付可能 ■微少流量から対応 ■±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 ■非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能 ■上部ニードルバルブ仕様対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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SUPCON 高性能流量計|フローメーターラインナップ

高精度×低コスト!最適な流量計をこの一冊で

SUPCONの流量計シリーズは、最先端の計測技術を採用し、電磁流量計(EMF)、渦流量計(Vortex)、タービン流量計(Turbine)など多様なモデルを提供。各種液体・気体・蒸気の流量測定に対応し、化学、石油、食品、製薬、水処理など幅広い産業で活躍します。 高精度な計測を実現するトリステート波励磁技術、耐久性に優れた特殊ライニング材、過酷な環境でも安定動作するIP68対応モデルをラインナップ。Modbus・HART通信対応でシステム統合も容易です。 エネルギー効率の最適化やプロセス制御の精度向上に貢献するSUPCONの流量計。正確な計測と高いコストパフォーマンスで、ビジネスの成功をサポートします。

  • 流量計
  • フローメータ

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QT600 粘度補正付 タービン式フローメータ

粘度変化に強いフローメータはギヤ式だけ? 軽量で取り扱いやすいタービン式で同等の性能を実現!

【特徴】 ■ ハイドロテクニック社のタービン式フローメータはユニークで、タービンの筐体に追加で温度センサや圧力センサを装着する事が出来ます。 ■ 流量と温度を同時に計測出来る事を生かし、オイルの粘度変化に影響されず正確な流量が測定出来るQT600を開発。 ■ 弊社の計測機器(ハンディロガーMS4070/5070)と併用して頂く事により、正確な流量が簡単に測定出来ます。

  • 流量計
  • フローメータ

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エアフローメーター DF-R280

エアー流量の高精度計測を実現 10mL/minから500L/minまでの複数の層流管と組み合わせが可能

インライン検査用からラボ用まで様々な用途に対応します。 流量センサーに層流管を採用し精度は読み取り値の±1%と高精度を誇ります。 大型液晶画面で流量値以外にも多くの情報を表示します 。 特長 ●アイコン表示。ワンタッチで各画面が開きます。 ●テスト圧力、流量を波形でモニターできます。 ●表示言語切り替え機能 (日本語/英語/中国語) ●多彩なホールド機能を搭載 ●欲しいデータをチェックする事で、的確な情報を提供 ●USBポートでデータ収集が行えます。 ●フル4桁表示 ●温度センサー・ライン圧センサー・大気圧センサーは標準装備 ●ネットワーク上で使用できるFTP機能搭載 (メモリー搭載時)

  • リーク試験装置
  • 流量計
  • フローメータ

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ALICAT マスフローメーター(低圧力損失タイプ)納期約4週間

極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!現在納期約4週間。

『MWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • その他計測・記録・測定器
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ALICAT ポータブルフローメーター MBシリーズ:納期4週間

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。納期約4週間。

『MBシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能で持ち運び可能なALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MBSシリーズ」、極めて小さな差圧で計測可能な「MWBシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT マスフローメーター (標準タイプ):納期4週間

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。現在納期4週間。

『Mシリーズ』は、混合ガスを含め1台で98種類のガス流量の計測が可能な ALICAT(アリキャット)社製のマスフローメーターです。 ±(0.8% Reading +0.2% F.S.)の正確な流量計測ができ、10msの高速応答で 流量変化にすばやく追従。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め130種類のガスに対応した「MSシリーズ」、 極めて小さな差圧で計測可能な「MWシリーズ」などもラインアップしています。 【特長】 ■10msの高速応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS) の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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エアー向け 露点計・ハンディ露点計・マスフローメーター

圧縮空気中のドレイン管理・露点管理に露点計の使用

コンプレッサーエアー/圧縮空気において、水分は密接な関係があります。ドレインを輩出しても、配管途中で低温スポットがあれば結露の要因になります。また、エアー搬送距離の長い工場や、半導体や電池業界等においては、水分量を低くコントロールしたエアーを製造する必要があり、乾燥剤による吸着式ドライヤー、ハニカムローター式ドライヤーが使用されます。 また、最近では、マスフローメーターによるエアー量の管理を導入検討する工場が増えています。

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  • 分析機器・装置
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高精度フローメータ『MODEL RK1400 SERIES』

±2%F.S.以下の高精度な計測が可能!微少流量から幅広い流量レンジに対応します

『MODEL RK1400 SERIES』は、豊富なバリエーションで様々な使用条件に 対応するフローメータです。 ±2%F.S.以下の高精度な計測が可能。微少流量から幅広い流量レンジに 適応します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O(液体)です。 【標準仕様(抜粋)】 ■最大流量(気体はAir大気圧)  ・気体:5mL/min~100L/min  ・液体:5mL/min~2L/min ■精度:±2%F.S. ■最高使用温度:60℃ ■接続:Rc1/4 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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フローメータ『MODEL RK1500 SERIES』

ベローズシール型のニードルバルブにより低リーク!微少流量から対応します!

『MODEL RK1500 SERIES』は、±2%F.S.以下の高精度な計測ができる フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O(液体)と なっております。 【特長】 ■ベローズシール型のニードルバルブにより低リーク ■±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 ■非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能 ■上部ニードルバルブ仕様対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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スタンド付フローメータ『MODEL RK1310 SERIES』

最高使用温度は60℃!非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有します

『MODEL RK1310 SERIES』は、±2%以下の高精度な計測ができる スタンド付フローメータです。 微少流量から対応。非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた 制御性能を有します。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O(液体) となっております。 【特長】 ■スタンド付き ■微少流量から対応 ■±2%以下の高精度な計測が可能 ■上部ニードルバルブ仕様対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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単電源マスフローメータ『AR-M2324』

一般産業機器にマッチした24V駆動の電子流量計

『AR-M2324』は、コンパクトサイズで60SLMクラスの領域まで流量計測が 可能な単電源マスフローメータです。 お手持ちの電源でマスフローメータの動作が可能です。 【特長】 ■一般産業機器にマッチ ■お手持ちの電源でマスフローメータが動作可能 ■コンパクトサイズ ■60SLMクラスの領域まで流量計測が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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樹脂製フローメータ『RK20T』『RK50T』

気体・液体の流量計測に。軽量かつコンパクトで電源不要。在庫品が豊富で短納期・低価格を実現

『RK20T』『RK50T』は、水(H2O)・窒素(N2)・空気などの 流量計測に役立つ樹脂製フローメーターです。 微小流量用の『RK20T』、大流量用の『RK50T』をご用意しており、 それぞれバルブの有無が選べます。 電源が不要で、様々な場所に設置することができ、 エアーサンプリングやパージシステムなど各種実験装置への搭載や、 工場で使用されるエアーなどの状況監視に適しています。 【特長】 ■気体(Air/N2)・液体(H2O)の計測が可能 ■『RK20T』は0.05~0.5L/min(Air/N2)の微小流量から対応 ■『RK50T』は30~300L/min(Air/N2)の大流量まで対応 ■在庫を多数用意しており、短納期・低価格でのご提供が可能 ■シンプルで視認性の高いデザイン ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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【圧縮エアー等用】マスフローメーター EE771/EE772

DN15(1/2”)~最大 DN80 (3”)までの配管内の流量の計測に最適!エアーの使用量管理で省エネへ。

● 高精度指示値の±1.5% ● 圧力下測定を出荷前設定 ● 優れた再現性 ● ライン圧力下での素早いセンサー交換(EE772) ● Modbus RTU/M-BUS用バスインターフェイス ■EE771/EE772は、熱式質量流量原理を採用し、DN15(1/2”)~ 最大DN80(3”)までの 配管内の流量の計測に適したマスフローメーターです。 ■圧縮空気、窒素、CO2、酸素、アルゴンまたは他の非腐食性、 非可燃性ガスなどの使用量の測定が可能。 ■測定バルブと遮断機能を兼ね備えたユニークな設置コンセプトにより、 定期校正時の際の取付/取外しが迅速に行えるほか、パイプ内の正確且つ 再現性がある位置に設置できる為、高精度が保証されます。 その他詳細は、カタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。

  • EE771-flow-display-compact.jpg
  • EE771-flow-remoteprobe-display.jpg
  • EE771-flow-remoteprobe-display-valve.jpg
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フローメータ『MODEL RK1200 SERIES』

精密ニードルバルブ付!豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応します

『MODEL RK1200 SERIES』は、微少流量から幅広い流量レンジに 対応するフローメータです。 非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有し、 ±2%F.S.以下の高精度な計測が可能。 対象流体はN2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体、H2O(液体)です。 【特長】 ■微少流量から幅広い流量レンジに対応 ■±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 ■非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能 ■上部ニードルバルブ仕様対応 ■豊富なバリエーションで様々な使用条件に対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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MODEL RK1812/RK1814 SERIES

上部ニードルバルブ仕様対応!5~55℃で使用可能なフォトセンサ付フローメータ

『MODEL RK1812/RK1814 SERIES』は、±2%F.S.以下の高精度な計測が 可能なフローメータです。 フォトセンサによる警報機能あり。非回転構造の精密ニードルバルブにより 優れた制御性能を有します。 また、上部ニードルバルブ仕様にも対応しております。 【特長】 ■フォトセンサによる警報機能あり ■±2%F.S.以下の高精度な計測が可能 ■非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マスフローメータ 「LIQUI-FLOW mini」

液体用マイクロフルイディック・マスフローメータ

ブロンコストハイテックはマイクロフルイディックコンセプトに基き液体用のマスフローメータ(MFM)、LIQUI-FLOW miniを開発いたしました。 この大変コンパクトな計器は水ベースでなんと極微少流量1,5…75 mg/h (0,025…1,25 μl/min)から12…600 mg/hを正確に計測いたします。 ストレートな duplex steel センサー(W1.4462) は内容量が僅か1mm3以下で、サーマル計測原理で動作いたします。 【特徴】 ○流量レンジ 0-75mg/hから 0-600mg/h (水換算流量) ○超低流量レンジ用のサーマル式液体 ○アナログ / RS232出力 ○圧力定格最大1000bar 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。

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金属管面積式フローメーター BF300

気体・液体・蒸気用

・流量計測範囲 水:1~100,000L/時 エア:0.03~1,200Nm3/時 ・使用圧力:0~4MPa ・流体温度:-50~+200℃ ・材質:接流体部:SUS316 ハウジング:Al(塗装) ・表示単位:L/h、m3/h、kg/h、%ほか ・精度:±2%FS ・接続口径:ネジ込 G1/2~G1、フランジ JIS 15A~125A ・流体温度範囲:-50~+200℃ ・防じん防水規格:IP66 ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お問い合わせください

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ALICAT 液体用フローメーター L シリーズ

ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現!0.5CCMから10LPMまでラインアップをご用意

『L シリーズ』は、ALICAT(アリキャット)社製のラミナーフロー方式(差圧式)による20msの高速応答ができる液体用フローメーターです。 流量変化にすばやく追従し、リアルタイムに流量の確認が可能。 流量レンジは2~100%F.S.の50:1、0.5CCMタイプでは0.01mL/minから 計測できます。 外部出力として0~5VDC出力およびRS-232C通信を標準搭載しており、 NISTトレーサブル検査成績証が標準で付属します。 この他に液体用フローコントローラー「LC/LCR シリーズ」や、 オプションでバッテリーを搭載したポータブルタイプも取り扱っています。 【対応液体】 純水、メタノール、イソプロパノール、エタノール、アンモニア、ジメチルエーテル、イソペンタン、チオフェン、イソオクタン、ヘプタン、アセトン ※これらの他にも対応できる場合もございます。 【特長】 ■20msの高速応答/100msの制御応答 ■±2%F.S.の流量精度 ■0.5CCMから10LPMまで ■表示器はバックライト付き液晶 ■アナログ出力、 RS-232C通信を標準搭載

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金属管面積式フローメーター『BR250シリーズ』

低価格で短納期。-50~200℃の幅広い流体に対応。設置は水平・垂直の両方可

金属管面積式フローメーター『BR250シリーズ』は、 エア、水、油、蒸気、薬品など幅広い流体に使用可能です。 垂直のほか、水平設置にも対応しており、 流れ方向も左右・上下のどちらからにも変更できます。 対応温度範囲は-50~200℃で、口径はRc1/4~Rc2(15A~50A)、 使用圧力は0~4MPa、IP66の防塵防水性能を備えています。 【その他の特長】 ■リーズナブルな価格。しかも短納期 ■計測範囲は「水:0~2000L/分」「エア:0.8~1200Nm3/時」 ■圧力損失は「0.02~0.03MPa」 ■表示は「L/min・L/h・Nm3/h・%」に対応 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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金属管面積式フローメーター『BR250シリーズ』

JIS準拠!防塵防水規格IP66のローコスト・ハイパフォーマンス フローメーター!

『BR250シリーズ』は、-50~+200℃の幅広い流体温度に適合する 金属管面積式フローメーターです。 使用圧力範囲は0~4MPa。 流れ方向は左右、上下の選択が可能です。 垂直、又は水平設置をすることができます。 【特長】 ■流れ方向 左右、上下の選択可能 ■使用圧力範囲0~4MPa ■-50~+200℃の幅広い流体温度に適合 ■ローコスト・ハイパフォーマンス ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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  • 圧力計
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ALICAT 圧力計/圧力コントローラーP/PCシリーズ

高速応答で安定性のある圧力制御。 アナログ出力、RS-232C通信を標準搭載。 ±(0.30% FS) の高い圧力精度。

『Pシリーズ』は、高速応答で安定性のあるALICAT(アリキャット)社製の圧力計です。 『PC/PC3/PCD/PCRシリーズ』は、高速応答で安定性のある圧力制御が可能なALICAT(アリキャット)社製のコントローラーです。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.30% FS) の高い圧力精度 ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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金属管フローメーター『BR250S』

気体、液体、蒸気および油の高流量用に!スプリング式金属管フローメーター

『BR250S』は、気体、液体、蒸気および油の高流量用の 金属管フローメーターです。 当製品はスプリング式。 ケース材質はアルミニウム合金(塗装)又はSUS316を使用しています。 温度は標準では-50℃~+200℃、オプションでは400℃まで使用可能です。 【仕様(抜粋)】 ■ケース材質:アルミニウム合金(塗装)又はSUS316 ■本体接液部材質:SUS316・磁気結合による指示(シールなし) ■計測範囲:水:30~250,000L/時、空気:0.8~1,200 Nm3/時  (リクエストに応じて特別な範囲) ■保護クラス:防じん防水 IP66又は防爆 ■温度:標準-50℃~+200℃・オプション:400℃まで ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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デジタルマスフローメーター『ALCOS-Mシリーズ』

デジタル表示を搭載し、流量の見える化を実現。取り付け場所を選ばない質量流量計

『ALCOS-Mシリーズ』は、マイクロチップセンサーを搭載した 熱式質量流量計です。 デジタルスピードコントローラー「ALCOS-V」とドッキングすることで デジタルマスフローコントローラに変身。 また、分離されたバルブの遠隔コントロールで、自在にシステムの 構築が可能となりました。 【特長】 ■デジタル表示により流量を即時把握 ■ジョグスイッチを搭載しレンジの切り替えが容易 ■円筒形設計により設置等が容易(取り付け場所を選ばない) ■独自開発の流量センサーにより誤差が少ない ■コントローラーの後付けが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせください。

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フローメーター(風速直読計)

空気の量を適正にコントロールして快適と省エネに貢献!多孔ピトー管方式風速・風量測定センサ

『KFSCシリーズ』は、多孔ピトー管方式を採用した、ダクト内の 風速・風量を測定するセンサです。 適正な給気、換気、排気量の管理は設備の適正化とエネルギーコストの低減に つながります。 当製品は、空気の搬送量を管理するのに適したシステムコンポーネンツ。 ビルディング、工場、プラント設備の様々な用途にご使用いただける製品として、 幅広い製品構成で対応します。 【特長】 ■ケーシングとピトー管によるセンサ構造 ■空気、不活性ガスの風速もしくは流量の計測、監視及び制御に好適 ■ピトー管風速測定法を採用し、安定した特性を維持 ■設置、保守点検が容易 ■センサを複数個装着することにより、様々なダクトサイズに適応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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マルチフローメータ『MODEL RK120XM SERIES』

非回転構造の精密ニードルバルブにより優れた制御性能!2~4ラインの簡易的なガス混合が可能

『MODEL RK120XM SERIES』は、ガス混合用のマルチフローメータです。 スタンド取付でき、±2%F.S.以下の高精度な計測が可能。非回転構造の 精密ニードルバルブにより優れた制御性能を有しています。 また、対象流体は、N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等の気体で、最大流量 50mL/min~10L/min(1ライン10L/min以下、トータル20L/min以下)となって います。 【標準仕様(一部)】 ■対象流体:N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量(Air 大気圧):50mL/min~10L/min (1ライン10L/min以下、トータル20L/min以下) ■有効目盛 10:1 ■精度:±2%F.S. ■耐圧:0.5MPa(G) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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コンパクトタイプ 差圧式フローメーター D520

コンパクトボディにより従来製品の約1/5の内部容量を実現! 精度・再現性がアップした差圧式フローメーター

○従来製品の約1/5の内部容量を実現したことで、精度、再現性がアップ  充填・安定に要する時間が短縮され、テスト時間の短縮に貢献 ○外部機器とLANを組み、テストパラメータ、データ等  全ての管理をパソコンから行う事が可能 ○直説法または間接法による流量測定 ○広い測定レンジ ○USA と S.I. 単位 ○標準測定、もしくは御希望の条件での測定が可能 ○基準圧力にて流量を再計算 ○層流管、差圧センサー、バルブ等計測に必要な主要物を全て内蔵

  • 分析機器・装置
  • 画像処理機器
  • その他計測・記録・測定器
  • フローメータ

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『コリオリ式 TiCl4用液体MFC』

精密に制御かつ高再現が実現できる!TiCl4の流量をコントロールできるMFC

『TiCl4用液体MFC』は、TiCl4の流量を精密にコントロールすることが できる装置です。 メタルハードニングなどの工程で使用されるTiCl4は、 これまでサーマル式のMFCがよく使用されてきました。 しかし、流体の密度や比熱など物理的変化に対応できず、 正確に流量を測定・制御・高い再現性をキープなどが難しく、 上手く使用するためには、各ユーザーや装置メーカーごとの ノウハウが必要で、それらが大きな課題でもありました。 本製品をご利用頂ければ、精密に制御かつ高再現が実現できます。 【特長】 ■計測原理がサーマル式ではなくコリオリ式 ■流体の物理変化に影響を受けず「正確な質量」を投入することができる ■メンテナンス性など考慮しコントロールバルブ別置きタイプも選択できる 詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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