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プロセス分析計 / オンライン分析計でCMT工程における過酸化水素の濃度を常時モニタリング！
ケミカル・メカニカル・ポリシャ«CMP»は、シリコンウェハ表面を滑らかにしたり研磨したりするために使用される主要な技術の1つです。 一般的には、この工程では、脱イオン水、CMPスラリー(コロイド状シリコンやアルミナ液体分散体)、および過酸化水素(強酸化剤)を一定の濃度と比率で混合する工程です。 過酸化水素は経時的に劣化するため、CMP工程を効率よく繰り返し行うためには、その濃度をオンラインで常時監視する必要があります。このように、CMPスラリーが常に規格内であることを確認し、必要に応じて混合物を調整することで、製品の歩留まりを抑制します。
半導体産業向け！プロセス分析計 / オンライン分析計で現像液中の水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)をモニタリング！
水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)は、主に集積回路（IC）、プリント基板（PCB）、フラットパネルディスプレイ（LCD）の製造に用いられる第4級アモニウム塩で、これらのデバイス製造時のフォトリソグラフィ工程で最もよく使用されます。 この工程では、フォトレジスト現像液を使用して、基板上にパターンを転写します。半導体産業で使用される薬品は、極めて純粋でなければなりません。なぜなら、微量の汚染物質でさえ、電気的特性に悪影響を及ぼすからです。 現像工程はフォトリソグラフィにおける重要な段階であり、生産効率を上げるためにはこの工程を最適化しなければなりません。このプロセスアプリケーションノートでは、オンラインプロセス滴定により現像液中のTMAH濃度をモニターする方法を紹介します。
無電解ニッケルめっき浴中のニッケル濃度と次亜リン酸含有量をオンライン分析！
純粋なニッケルは銀白色の金属で、非常に硬く、耐食性があり、延性があります。これらの顕著な特性のために、ニッケルは、主にコーティングおよび表面工学において多くのアプリケーションで使用されています。無電解ニッケルめっきは、ニッケル‐リン合金の層を工作物の表面にめっきするための自己触媒化学技術です。この方法は、めっきのために金属イオンと反応する還元剤（次亜リン酸ナトリウム）の含有量に依存します。 しかし、めっき浴の薬品の寿命は限られているので、薬品の消費を自動的に監視することが重要なプロセス制御要件となります。めっき浴を長時間使用すると、薬品中の電解質は反応生成物で過負荷になり、工作物の表面および層の特性に悪影響を及ぼします。 このプロセスアプリケーションノートは、ニッケル‐リン合金の均一な層を確実にめっきさせるために、無電解ニッケルめっき浴中の各種活性浴成分を定期的にモニタリングする手法を提案します。 オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
温度滴定法によりアルミン酸溶液中の水酸化物、炭酸塩、アルミナの濃度をオンライン分析
ボーキサイトからアルミナを精製する方法が「バイヤー法」です。アルミナから直接アルミニウムを精製する方がコストやエネルギー効率が良いため、この製法では、粉砕したボーキサイトを高温の酸化カルシウム(以下、CaO)と水酸化ナトリウム(以下、NaOH)で溶解し、「アルミン酸溶液」をつくります。 また、CaOはアルカリ溶液中で有機物の分解や大気中のCO2吸収によって生成される炭酸塩を苛性化させ、除去します。 不純物はプロセスの様々な段階で除去されます。アルミン酸溶液は濾過され、固形物として残ったアルミナ結晶は溶解工程に戻し、再利用されます。 濾過されたアルミン酸溶液を利用する前に、水酸化物（苛性）、炭酸塩、アルミナの濃度を測定する必要があります。この技術資料では、メトロームプロセスアナリティクスの2060TIプロセスアナライザーまたは2035プロセスアナライザーの温度滴定法により、アルミン酸溶液中の水酸化物、炭酸塩、アルミナの濃度をオンラインでモニタリングすることに焦点を当てています。 オンライン分析計 プロセス分析計 インライン分析計
滴定、pH、吸光度といった測定をシングルメソッドで行えるコンパクトなプロセス用オンライン分析計。
202Xプロセスアナライザーは、取り扱いが簡単でコンパクトなオンライン湿式化学分析用プロセス分析装置で、信頼できるプロセスモニタリングと昼夜を問わないコントロールを実現し、時間と費用の節約に貢献します。 202Xシリーズには以下の3種類があります： ・2026 タイトロライザー： 滴定やイオン選択性電極によるイオン測定 (2ラインまで) ・2026 pH アナライザー： 自動洗浄や自動校正機能付きpH測定 ・2029 プロセスフォトメーター： 吸光度測定 (2ラインまで)
WIM COMPASTやRAMAN PRISMなど様々な製品をラインアップ！
当社で取り扱っているHobreの製品をご紹介いたします。 光音響TDLを利用した硫化水素・水・二酸化炭素の測定を行う 「TISOMIC 第二代TDL分析計」やXRFを利用して液体中の元素を 分析する「XRF分析計」など、さまざまな製品をラインアップ。 ご用命の際は当社へお気軽にご連絡ください。 【オンラインプロセス分析計】 ■WIM COMPAS ■TISOMIC 第二代TDL分析計 ■XRF分析計 ■HIFISC ■WIM COMPACT ■RAMAN PRISM など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
