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マスフローコントローラ(圧力制御) - メーカー・企業と業務用製品 | イプロスものづくり

更新日: 集計期間:2026年09月16日~2026年10月13日
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マスフローコントローラの製品一覧

31~38 件を表示 / 全 38 件

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マスフローコントローラ MODEL8700/3660SERIES

温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能! N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。

当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC(4-20mAに変更可能)を有し、 各種機能(瞬時/積算流量表示、アラーム設定)を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体:気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量:気体 10SCCM~100SLM ■精度:±1~1.5%F.S. ■幅広い流量レンジに対応(N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで) ■アナログ入出力は表示器にて変更可能(MODEL 8700 SERIES) ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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ALICAT マスフローコントローラーMCQ(高圧)

最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応!納期6-8週間。

『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。  ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス/冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS/MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±(0.8% RD + 0.2% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • 流量計
  • その他 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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LOW-ΔP-FLOW低圧損・腐食性ガス用マスフローコントローラ

詰まりにくく、低圧損のマスフローメータ・コントローラです。腐食性ガスにも適合します。専用設計のセンサと層流素子を搭載しています。

LOW-ΔP-FLOWシリーズは、低圧損アプリケーション用にブロンコスト・ハイテックが開発したマスフローメータ/コントローラです。低圧損構造のセンサと層流素子を採用しており、低差圧での運転に最適です。 最小レンジ:0.2...10 mln/min 最大レンジ:20...1000 m3n/h 特徴 ・極低圧損 ・詰まりにくくパージし易い構造 ・工業仕様のハウジング(IP65)提供可能 低圧損マスフローコントローラLOW-ΔP-FLOWはコンパクト設計で、フローメータ、調節弁をワンボディーに収納された構成になっています。これらコンパクトモデルの最大流量キャパシティーは、運転条件にもよりますが、1...50 ln/min(空気ベース)になります。低差圧で大流量制御の場合は、圧力補償型ベローズバルブと低圧損タイプ流量計(コントローラ内蔵)との組合せで提供します。 さらに、機器はコンパクトな通信用PCBを追加することにより各種フィールドバスプロトコルに対応致します;DeviceNetTM, Profibus-DP(R), EtherCAT, Modbus又はFLOW-BUSプロトコル

  • 流量計
  • 流量制御
  • バルブ
  • マスフローコントローラ

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0.3秒で追従する高速応答MFC(マスフローコントローラ)

0.3秒以内の高速応答!設定流量の変更が多い装置に!圧力レンジも広範囲に対応(0.01~1.0MPa)

産業用マスフローコントローラはビュルケルト! 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ~1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでOK ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でOK ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET

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マスフローコントローラ/メータ SLAMfシリーズ※国内防爆認証

国内防爆認証(JPEx)を正式取得!厳しい環境にも対応する耐久性!優れた精度を実現する精密マスフローコントロール!

粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆(MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X)を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。  【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。 

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  • 流量計
  • 流量制御
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【半導体成膜向け】GP200シリーズ

圧力ベースMFCで成膜プロセスの安定化と歩留まり向上を実現

半導体製造における成膜プロセスでは、ガス流量のわずかな変動が膜厚や膜質に大きな影響を与えます。特にCVD・PVD・ALD工程では、高精度かつ再現性の高い流量制御が、デバイス性能と歩留まりを左右する重要な要素です。GP200シリーズは、差圧センサーと最適化されたコントロールバルブ設計により、高精度な流量計測と優れた再現性を実現。安定したプロセス制御を支援し、高品質な薄膜形成に貢献します。 【活用シーン】 ・CVD(化学気相成長)プロセス ・PVD(物理気相成長)プロセス ・ALD(原子層堆積)プロセス 【導入メリット】 ・膜厚均一性の向上 ・組成制御精度の向上 ・プロセス安定化による歩留まり改善 ・ガス供給の再現性向上

  • その他計測・記録・測定器
  • マスフローコントローラ

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【製薬向け】精密マスフローコントローラ「SLAMfシリーズ」

精密マスフローコントローラ。混合プロセスの精度を高め、医薬品品質の安定化に貢献。

医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減

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  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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【研究機関向け】MFC / MFM「SLA5800シリーズ」

ガスの精密制御で、研究開発を加速。KHK認証取得で手続きもスムーズ。

研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化

  • 安全コントローラ
  • 流量計
  • 流量制御
  • マスフローコントローラ

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