更新日： 集計期間:2026年06月03日～2026年06月30日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
1～26 件を表示 ／ 全 26 件
超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。
圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性 上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため 上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用 様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。
圧力制御を自動化し、圧力/背圧レギュレータとして使用できます！
オートプレッシャーコントローラ『SLA/SLAMfシリーズ』は、豊富なオプションと機能を備えています。 SLA/SLAMfシリーズ マスフローコントローラおよびメータと組み合わせることで、シングルプラットフォームの利点である、制御（プロセス）に一貫性を持たせることができます。 SLA/SLAMfシリーズは、国際標準にトレーサブルな一次流量校正システムを使用しており、当社の優れた計測システムおよび手法に基づき、高精度、ゼロ点の長期安定性、優れた再現性を特徴としています。
フジキンのFCSは、ながれ(流体)制御技術を常にリードします！
フジキンのFCSシリーズは、さまざまな産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。FCSシリーズでは、FCS-Pressure(圧力制御方式)シリーズと、FCS-Thermal(熱式流量センサ制御方式)シリーズの制御方式の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。
薄膜、コーティング、表面処理は、幅広い産業とアプリケーションをカバーしています！
産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。 化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空、圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。また、当社の製品は、熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■再現性の高い、高精度なガス供給 ■優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■長期にわたる安定したプロセス制御 ■高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、プロセスの歩留まりを最大化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
気体・液体の計測・制御のことなら
お客様のニーズに合わせた一品一様のものづくりで、流体計測制御機器を製造・販売しています。半導体製造工程向けに開発した圧力変動に強いマスフローコントローラST-500や、液温変化時にも高精度な流量計測が可能なカルマン渦流量計FML-300を出展します。精密流量制御の技術力と、多様な産業・研究用途に対応する柔軟性が弊社の強みです。
OEMに最適。コスト低減と多様な用途における柔軟性を追求した、アナログI/O専用サーマル式デジタルマスフローコントローラ
EL-FLOW Classicシリーズ デジタルマスフローコントローラは、ブロンコストの最新技術を盛り込みつつ、流量測定・制御という基本的な機能に特化して価格を抑えたモデルです。 アナログI/O対応(デジタル通信非対応)、標準ガス(Air, N2, H2, O2, He, Ar, CO, CO2, N2O, CH4)向けのみのラインナップとし、納期を短くしています。 詳しくはカタログをご覧になるか、お問合せ下さい。
ワイドレンジの使用圧力に対応したマスフローコントローラ(MFC)。0.3秒以内の高速応答が可能です。大流量も制御可能！
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 各種産業毎に異なる、多様な仕様へ向けたマスフロー、他社仕様とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 圧力レンジ以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●レンジアビリティ → 1:100の高精度 ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
1台のデバイスで複数のガスに対応するマスフローコントローラ/メータ。最大4台まで接続できるコンパクトなリードアウトユニットも紹介
『GF40シリーズ』は、1台で複数のガスに対応し プロセスの柔軟性と生産性を向上できるマスフローコントローラ/メータです。 メーカー独自の「MultiFloテクノロジー」を搭載し 高精度な流量制御や測定が可能で、多様なガスを使用するシステムに好適。 頻繁にガスの種類を変更する場合や、測定と制御精度を維持しつつ 範囲を再調整する必要のあるプロセス・施設で活躍します。 また、『0254』は電源供給とアナログ制御の機能に加え RS232シリアルポートを搭載したリードアウトユニットです。 RoHS指令に準拠し、ユーザーフレンドリーな操作性を提供。 多様なアプリケーションに簡単にインストールできる取付方法のオプションがあり 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電力を供給します。 【特長】 ◎『GF40シリーズ』 ■豊富な実ガスデータを搭載 ■ガス種と流量レンジを変更できるため、1台で多様な研究テーマに対応可能 ◎『0254』 ■流量設定は瞬時制御とバッチ制御、流量表示は瞬時と積算に対応 ■省スペースで最大4台のマスフローコントローラ/メータを接続可能
【ポンプシステム 事例2】超臨界ガス計測と制御
超臨界付近の流体；炭酸ガス(CO2)やエチレン(C2H4)等の計測は容易ではありません。 例えば炭酸ガスCO2は温度が20℃以上、圧力が約30baraぐらいになりますと臨海域にはいります。 このような条件では、温度、圧力変化の結果として物理特性；密度や比熱が急激に変化します。 従って、これらの流体をサーマル式で計測するのは非常に困難になります。 「Mini CORI-FLOW(R)」は物理的特性に関係なく真のマスフロー計測ですので、これらの問題を一気に解決してくれます。 【適用例】 ○流体がガス状、液状又はそれらの端境であっても、分子そのものの質量を計測 ○この測定原理は高精密で安定測定を提供してくれることをフィールドで認証済み 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢です！半導体・分析機器・医療機器用
『SFC6000D-5slm』は、優れた価格性能比と納期が8週間という 非常に魅力的なマスフローコントローラーです。 小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点に。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
優れた価格性能比！納期が8週間という非常に魅力的な製品です
『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
幅広い分野で使用可能！ガス種限定仕様ローコストマスフローコントローラ
『1030/1050』は、ガス種限定仕様のローコストマスフローコントローラです。 基本性能を追求した独自技術により、コストを抑え、製品の性能と 信頼性を高めています。 ガス種はAir・N2・Ar・H2・CO2・O2・Heに対応。医薬・培養・バイオ・ 農業・溶接・蒸着コーティング・分析・各種研究や実験など幅広い 分野でご使用頂けます。 【特長】 ■気体用低コスト流量制御機器 ■ローコスト＆簡単操作 ■最大フルスケール流量：30 SLM・50SLM ■フローサージを抑制 ■流量設定／出力信号：0-5V ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
8週間という短納期でサンプルが入手可能！サプライチェーンは堅牢です
『SFC6000D-50slm』は、再現性、精度、制御範囲、速度の点で 優れたパフォーマンスを発揮するマスフローコントローラーです。 優れた価格性能比と納期が8週間という短納期でサンプルが 入手できる非常に魅力的な製品。 また、非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化でき、 特にポータブルデバイスにとって決定的な利点となります。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。現在納期約4週間。
『MCW/MCRWシリーズ』は、非常に小さな差圧で計測が可能なため、圧力損失も非常に小さく、低圧でご使用される環境に最適なALICAT(アリキャット)社製のマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した「MCS/MCRSシリーズ」、などもラインアップしています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから1000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
持続可能な未来を支える「ソリューション」
水素、燃料電池、CCUS、バイオ燃料、CNT製造。未来のエネルギーを支える現場には、正確な流れを見守る技術があります。ブルックスインスツルメントの流量計が、エネルギートランジションを支えます。 カーボンニュートラルの研究開発に役立つ、ガスの制御・測定機能を備えたサーマルマスフローコントローラ/メータ「SLA5800シリーズ」や、厳しい設置環境でも高い再現性と長期安定性を実現するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ「SLAMfシリーズ」などをラインアップ。 ISO/IEC17025認定校正が、次世代エネルギープロセスに求められる再現性を確かな基準で実現します。 【SLA5800シリーズ 特長】 ■DEKRAより、国内防爆(JPEx)の型式検定合格証を取得済 (対応品：マスフローコントローラ/メータ、プレッシャーコントローラ) ■化学・石油化学・燃料電池・ライフサイエンスなどの分野でも活躍 ■広範囲をカバーする流量レンジ ■1台で複数のガス・流量レンジに対応可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
大量生産のコストに厳しいOEMプロジェクト向けMFCをご紹介！
『SFC5300』は、優れた精度、長期安定性、再現性で質量流量を測定 および制御することができるマスフローコントローラーです。 コンパクトなサイズにもかかわらず広いダイナミックレンジで測定でき、 本体ボディーは金属製。 また、当製品の流体接続にはダウンマウント接続を、インターフェースには 2つのデジタルインターフェイスを用意しています。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：1, 2, 5 and 10 slm ■フルスケール流量：50, 100, 200 and 500 sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10 bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4,N2O,SF6 and C4F8 flow ■流体コネクタポート：Downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
ガスフローの精密制御において当社が歩んできた20年間の実績の集大成！
『SFC5500-0.5slm』は、複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた マスフローコントローラーです。 当製品は、マイクロサーマル測定原理に基づいており、当社の実績のある CMOSens MEMS技術を活用。 また、市場に出ている他製品とは異なり、ドリフトすることがなく、 市場で再校正する必要がありません。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.5slm ■フルスケール流量：500sccm ■精度：0.08％ FS or 0.8％ SP ■最高使用圧力：5bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
複数のガス校正と交換可能な継手を組み合わせた！医療、分析、産業の環境での幅広い用途に
『SFC5500-50sccm』は、マイクロサーマル測定原理に基づいた マスフローコントローラーです。 実績のあるCMOSens MEMS技術を活用。ドリフトすることがなく、市場で 再校正する必要がありません。 また、実現出来る幅広い流量制御範囲によって、一台の製品で複数の 流量範囲に対応できます。 【仕様(一部)】 ■フルスケール流量：0.05slm ■フルスケール流量：50sccm ■精度：0.2％FS or 2％ SP ■最高使用圧力：10bar ■キャリブレーション：Air,O2,N2,Ar,CO2,He,H2,CH4 and N2O flow ■流体コネクタポート：Legris ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
温度や圧力の影響を受けにくく、高精度な流量の計測や制御が可能！ N2、Air、H2、He、Arなどの気体が対象。
当社で取り扱うマスフローコントローラ『MODEL 8700/3660 SERIES』をご紹介します。 表示器付マスフローコントローラ/メータ「MODEL 8700 SERIES」は、 アナログ入出力0-5VDC（4-20mAに変更可能）を有し、 各種機能（瞬時/積算流量表示、アラーム設定）を使用可能です。 スタンダードマスフローコントローラ「MODEL 3660 SERIES」は、 N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで幅広い流量レンジに対応します。 【特長】 ■対象流体：気体 N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 ■最大流量：気体 10SCCM～100SLM ■精度：±1～1.5％F.S. ■幅広い流量レンジに対応（N2換算でF.S.10SCCMからF.S.100SLMまで） ■アナログ入出力は表示器にて変更可能（MODEL 8700 SERIES） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。 耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。 混合ガスにも対応！
『MC/MCP/MCRシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製の高圧タイプのマスフローコントローラーです。 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 この他に、腐食性ガス／冷媒ガスを含め128種類のガスに対応した 「MCHQS／MCRQSシリーズ」などのラインアップをご用意しています。 【特長】 ■100msの制御応答 ■±（0.8% RD + 0.2% FS）の高い流量精度 ■0.5SCCMから5000SLPMまでラインアップ ■アナログ出力、RS 232C通信を標準搭載 ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
0.3秒以内の高速応答！設定流量の変更が多い装置に！圧力レンジも広範囲に対応(0.01～1.0MPa)
産業用マスフローコントローラはビュルケルト！ 半導体業界向けのマスフローとは異なる、多様な仕様を必要とする産業へ向けた、他社とは一線を画した各種スペックを誇るマスフローです。 応答速度以外にも 【ビュルケルトの産業用マスフローは】 ●高圧対応 → ～1.0 MPa ●最低必要差圧 → 10kPaでＯＫ ●大流量 → 2500Nl/min (窒素換算) を一台で制御可能 ●暖気運転 → 1分でＯＫ ●タイトシャット可能 → 電磁弁の費用とスペースを削減 【さらにIoT世代のマスフローとして】 ●各種通信規格に対応 EtherCAT EtherNet/IP Modbus/TCP PROFINET
国内防爆認証(JPEx)を正式取得！厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール！
粉塵、湿度、極端な温度、水分など、どんな厳しい条件でも、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、 実証済みの「SLA5800ファミリ」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 特殊設計のNEMA4X/IP66規格筐体により、高度なデジタル電子部品を保護し、プロセスに不可欠なガス/流体マスフローの安定した正確な測定と制御を行います。 防塵防爆エンクロージャー仕様のSLAMFシリーズは、国内防爆認証(JPEx) 安全増防爆（MFC型式検定合格番号: DEK24.0048X、MFM型式検定合格番号: DEK24.0049X）を正式に取得したことで、Zone2エリアへの導入・使用が可能となりました。 【特長】 ■NEMA4X / IP66級の高耐久性筐体 ■幅広い定格流量 - 0.003から20800 slpm ■幅広い温度と圧力条件に対応 ■優れた精度を実現 ■設定可能なマルチガス/マルチレンジ機能 ※詳しくはPDFをダウンロード頂くか直接お問い合わせください。
混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。
『M/MCシリーズ』は、1台で98種類の多種多様なガスに対応できるALICAT社(アリキャット)製のマスフローメーター／コントローラーです。 【納期】 アリキャット製品の以下モデルの納期は 約４週間 となります。 ・フルスケール 2 mL/min ～ 1000 L/minの標準仕様のモデル (M/MB/MC) ・フルスケール 2 mL/min ～ 100 L/minの低圧力損失のモデル (MW/MWB/MCW) ※追加オプションの種類により納期が異なります。 ※コントローラーは圧力条件により納期が異なります。 それ以外のモデル、再校正、合計20台以上の納期は 6～8週間 となります。 【説明】 ラミナーフロー方式（差圧式）により高速応答を実現。 精度の高い差圧センサーを搭載し、正確な流量を計測します。 【特長】 ■±0.6% RD(16.7～100% FS)の高い流量精度 ■0.5SCCMから12000SLPMまでラインアップ ■混合ガスにも対応 ■バックライト付き液晶表示器を標準搭載 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
圧力ベースMFCで成膜プロセスの安定化と歩留まり向上を実現
半導体製造における成膜プロセスでは、ガス流量のわずかな変動が膜厚や膜質に大きな影響を与えます。特にCVD・PVD・ALD工程では、高精度かつ再現性の高い流量制御が、デバイス性能と歩留まりを左右する重要な要素です。GP200シリーズは、差圧センサーと最適化されたコントロールバルブ設計により、高精度な流量計測と優れた再現性を実現。安定したプロセス制御を支援し、高品質な薄膜形成に貢献します。 【活用シーン】 ・CVD（化学気相成長）プロセス ・PVD（物理気相成長）プロセス ・ALD（原子層堆積）プロセス 【導入メリット】 ・膜厚均一性の向上 ・組成制御精度の向上 ・プロセス安定化による歩留まり改善 ・ガス供給の再現性向上
精密マスフローコントローラ。混合プロセスの精度を高め、医薬品品質の安定化に貢献。
医薬品製造において、混合プロセスのわずかな流量変動が製品の有効性や安全性に影響を及ぼします。そのため、ガス流量の高精度かつ安定した制御が不可欠です。 SLAMfシリーズ マスフローコントローラは、高精度制御と優れた長期安定性により、配合バランスの最適化を実現。製造から研究開発まで、幅広い工程において品質の一貫性向上を支援します。 【活用シーン】 ・ 医薬品製造におけるガス混合・供給制御 ・ 研究開発における精密ガス混合 ・ 品質管理工程での流量測定・モニタリング 【導入メリット】 ・ 混合精度の向上による製品品質の安定化 ・ 再現性の高いプロセス制御の実現 ・ 製造効率の向上とロス低減
ガスの精密制御で、研究開発を加速。KHK認証取得で手続きもスムーズ。
研究機関における各種実験では、ガスの流量および圧力を正確に制御・測定できるかどうかが、実験結果の信頼性と再現性を大きく左右します。特に、カーボンニュートラル関連研究をはじめ、水素、メタン、LNG、二酸化炭素、アンモニアなどのガスを扱う実験においては、わずかな制御誤差が結果のばらつきや評価の不確実性につながる可能性があります。 不正確なガス制御は、実験条件の再現性を損ない、検証作業の増加や研究スケジュールの遅延を招く要因となります。 SLA5800シリーズは、こうした研究現場の課題に対応するため、高精度かつ安定したガス流量制御・測定性能を提供。実験条件の再現性向上とデータの信頼性確保を通じて、研究開発を強力にサポートします。 また、幅広いガス種に対応可能な設計により、基礎研究から応用研究、評価試験まで、多様な研究テーマに柔軟に対応できるマスフローコントローラとして活躍します。 【活用シーン】 ・ガス分析 ・反応実験 ・材料合成 ・燃料電池の研究 【導入の効果】 ・実験データの信頼性向上 ・研究効率の向上 ・高圧ガス関連の手続き簡素化
