0.1mL/minの超微小流量から20L/minまで、高精度にガス流量を制御
ビュルケルトのマスフローコントローラ Type 8733は、0.1 mL/minの超微小流量から最大20 L/minまで対応するコンパクトなMFCです。高精度な質量流量計測と比例制御により、微小なガス流量を安定して制御します。センサー・制御部・比例弁をコンパクトなボディに集約しており、分析装置や計測・検査装置の小型化・高密度化に貢献。Modbus RTUによるデジタル通信にも対応し、キャリアガス、校正ガス、半導体検査、材料評価、研究・ラボ設備など幅広い用途に適しています。
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基本情報
・流量レンジ:0.1~20,000 mL/min ※0.1~40 mL/minは特注仕様。使用条件・ガス種等により仕様確認が必要です。 ・精度:±0.5~1% of measured value + ±0.25~0.5% of full scale ・再現性:±0.1% of full scale ・最大圧力:7 bar(g) ・信号/通信:アナログ通信、Modbus RTU ・電源:DC 24 V ・接続:G1/8、NPT1/8、マニホールド ・流体温度:−10~+70℃
価格帯
納期
用途/実績例
ガス計測装置、分析装置、検査・評価装置、研究・ラボ設備
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1946年に南ドイツにて創業したビュルケルトは、老舗流体制御機器メーカーとして、70余年、様々なご用途に応じたバルブ/電磁弁/センサ・マスフローコントローラなどを製造して参りました。 現在では、ドイツ/フランスに5ヶ所の工場を持ち、世界37ヶ国に営業拠点を持つ、グローバル企業に成長致しました。 私どもビュルケルトジャパンも設立25年を迎え、日本の規格や習慣に合わせた製品をラインナップしております。 近年は多くの生産現場でIoT導入が話題に上がっており、効率化やコスト削減に加えIoT活用を見据えた予防保全、スマート化の話題に事欠きません。 ビュルケルトでは、プロセスオートメーション向けのIоT機器で自動調節を簡単に実現するソリューションをご提供します。 様々な通信形式に対応し、現場の役に立つIoT化を実現します。 調量弁やセンサ等の単体の提供だけではなく、システム提案まで幅広いソリューションを提供していますので、ぜひご相談ください。

