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マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』

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最終更新日:2025年07月23日

センシリオン株式会社
センシリオン株式会社
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優れた価格性能比!納期が8週間という非常に魅力的な製品です

『SFC6000D-20slm』は、非常に小さくて軽いため、デバイスの サイズと重量を最適化できるマスフローコントローラーです。 集積化が進み、使用する電子部品数が非常に少ないため、 サプライチェーンは堅牢。 さらに、再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れた パフォーマンスを発揮します。 【特長】 ■優れた価格性能比 ■納期が8週間 ■非常に小さくて軽いため、デバイスのサイズと重量を最適化可能 ■再現性、精度、制御範囲、速度の点で優れたパフォーマンスを発揮 ■使用する電子部品数が非常に少ないため、サプライチェーンは堅牢 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

    流量制御
?マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』

マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』

?マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』 画像.png
?マスフローコントローラー『SFC6000D-20slm』 画像.png
  • 関連リンク - https://sensirion.com/jp/products/catalog/SFC6000D…
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/sensirion/product/

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基本情報

【マスフロー】 ■フルスケール流量:5 slm ■フルスケール流量:5000 sccm ■精度:0.2% FS or 2% SP ■最高使用圧力:10 bar ■キャリブレーション:Air, N2, O2, N2O, Ar and CO2 flow ■流体コネクタポート:Push-in 6mm, downmount ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

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納期

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用途/実績例

【用途】 ■フロントオープニングユニファイドポッド(FOUP) ■ガラスコーティングおよび処理 ■ガスクロマトグラフィー ■バイオリアクター ■麻酔 ■換気 ■人工心肺 ■N2O療法 ■産業オートメーション ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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この製品に関するニュース(1)

半導体製造向けFOUPガスパージ制御に最適!センシリオンの高精度マスフローコントローラー 「SFC6000D」

  • 製品ニュース

センシリオンの「SFC6000D」は、FOUP(Front Opening Unified Pod)用途に最適なマスフローコントローラーです。 半導体製造では、極めて高いアスペクト比を持つ3次元構造が求められ、精密なガスパージ制御が不可欠です。SFC6000Dは、正確で安定したガス流量制御を実現し、歩留まり向上とコスト削減に貢献します。 ■主な特長 ・高精度・高速応答:保護用不活性ガスの流量を正確に制御 ・優れた再現性と長期安定性 ・マイコン不要:校正済みデジタルセンサーがバルブを直接制御 ・通信インターフェース:RS485、Modbus RTU、I2C、アナログ電圧対応 ・最大10 barの耐圧設計:5/20/50 slmモデルに対応 ・湿度耐性:非凝縮湿度環境でも安定動作 ■対象 ・半導体製造装置メーカー ・ウェーハ搬送装置メーカー ・クリーンルーム関連機器メーカー 詳細はお問い合わせ、または、資料ダウンロードをご利用ください。

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電話番号・住所

センシリオンのミッションは、優れた設計と信頼性を備えたセンサーおよびセンサーソリューションを提供し、お客様にとってのナンバーワンのパートナーになることです。テクノロジーインテリジェンスを活かしてセンサー技術の水準を引き上げることを目指しています。そうすることで、人々や企業のサステナビリティ、効率性、健康、安全、生活の質の向上に貢献します。パートナー企業やお客様と協力し、イノベーションを通じて自動車産業、産業部門、建築およびHVAC技術、医療技術、家電製品の未来を長期的に形成していくという共通の目標を日々追求しています。 センシリオンは1998年に設立し、現在はスイスのシュテファにある本社と世界各地の多数の子会社に約1,000人の従業員が在籍しています。

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