小流量域での高い再現性と省スペース化を両立。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など研究開発を支える超小型マスフローコントローラ
化学・素材・エネルギー分野の研究開発では、CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、環境対応技術の開発が進んでいます。GCシリーズは、こうした用途で求められる小流量域での高い再現性と、省スペースで安定したガス制御を両立する、MEMS式の超小型マスフローコントローラです。 Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O等に対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性、応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合）を備えています。ラボ装置、小型試験装置、分析設備などに適しており、環境技術の開発を支えるガス制御技術として活用できます。
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基本情報
・フルスケール流量：210～5000sccm（Air換算） ・制御レンジ：100:1 ・再現性：±0.25% S.P. ・応答時間：2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合） ・通信：Modbus RTU（RS-485） ・アナログI/O：0–5V、0–10V、4–20mA、0–20mA ・動作温度範囲：0～50℃ ■特長 ・MEMSセンサー採用の超小型マスフローコントローラ ・フルスケール流量210～5000sccm（Air換算） ・100:1の制御レンジ ・再現性 ±0.25% S.P. ・応答時間は2秒以下（設定値がフルスケールの10%超の場合） ・Modbus RTU（RS-485）およびアナログI/O対応 ・ラボ装置、小型試験装置への組み込みに適した省スペース設計 ■対応ガス Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂O
価格情報
仕様、対応ガス、用途例の詳細は資料をご確認ください。 適用可否や流量仕様のご相談も承ります。
納期
用途／実績例
■ 用途例 ・CO₂回収、再利用評価 ・排ガス模擬試験 ・燃焼、触媒評価 ・代替燃料評価 ・CO₂分離、吸着評価 ・分析装置向けガス制御 ・材料、製鉄分野の雰囲気制御 ・ラボスケール反応評価 ・小型試験装置、OEM装置への組み込み ■ こんな課題に ・小流量域で再現性が出にくい ・装置内スペースが限られている ・環境、脱炭素分野の研究用途で安定したガス制御を行いたい ・排ガス処理、燃焼、CO₂評価向けの小型MFCを探している ■ GCシリーズの特長 GCシリーズは、MEMSセンサーを採用した超小型のサーマル式マスフローコントローラです。Air、N₂、O₂、CO₂、Ar、CO、CH₄、C₃H₈、N₂Oなどに対応し、フルスケール流量210～5000sccm（Air換算）、100:1の制御レンジ、±0.25% S.P.の再現性を備えています。CO₂削減、排ガス処理、代替燃料評価など、脱炭素・環境対応技術の研究開発を支える小型ガス制御機器として、装置の省スペース化や条件出しの効率化に貢献します。
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企業情報
当社は、重工業、石油・ガス精製、化学や石油化学の研究、薬品薬剤や生物医薬品の生産、また、太陽電池、LED、薄膜、光ファイバー、半導体の製造装置など、さまざまな分野でご利用いただく製品をご提供しております。 プロセスの制御、正確な測定を行える環境設定に貢献することで、お客様側のプロセスの精度が高まり、常にお客様が競争力を発揮できるよう寄り添い切磋琢磨しながら、ビジネスの発展と成長を遂げてまいりました。 ご要望の際は、お気軽にご相談ください。
