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フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-P』

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最終更新日:2025年10月23日

株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
株式会社フジキン(Fujikin Incorporated)
  • 特設サイト
  • 公式サイト

超高純度用、圧力制御方式を採用した、 流量制御機器です。

圧力を制御することにより、従来のマスフローコントローラーでは実現できない 高精度な流量制御を可能にした、フローコントロールシステム 【特徴】 ○シンプルでデットスペースレスな構造 ○優れた圧力変動特性  上流の圧力が変動しても出力値が変動しないため  上流側に取り付ける事が可能。またレギュレータをガスシステムから省く事ができ  ガスシステムのコストダウンと小型化を同時に達成 ○フローファクターの採用  様々なガス種に対応可能 ○優れた精度 ○流量自己診断機能の搭載 ○すばやい応答性 ○マウントポジションフリー ○デバイスネット通信にも対応 ●その他機能や詳細については、カタログダウンロード下さい。

    流量制御
FCS-P.jpg

フローコントロールシステム(マスフロー)『FCS-P』

FCS-P.jpg
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  • 関連リンク - https://www.fujikin.co.jp/ja/product/products/list…
  • 特設サイト - 製品・サービス詳細 - https://pr.mono.ipros.com/fujikin/product/

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基本情報

1. 供給圧力が変動に対して、制御流量は影響を受けません。 2. 応答時間が早い(0.5秒以下) 3. 優れた制度(標準タイプの場合で±1.0%S.P.以内) 4. MGMR(マルチガス・マルチレンジ)機能搭載 5. 取付姿勢の影響を受けません。 6. 流量自己診断機能を搭載 7. ガス種を選びません 8. RoHS対応

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フローコントロールシステム FCS Pressure Series

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この製品に関するニュース(7)

【展示会】12/17~12/19「SEMICON Japan 2025」出展情報

  • セミナー・イベント

半導体製造装置・材料の国際展示会 「SEMICON Japan 2025」に出展します。 弊社ブースでは、半導体製造装置にかかせない、 高気密性・高耐久性を兼ね備えたバルブや、流体制御機器、 製造装置へプロセスガスを高速かつ安定に供給する 「高スループット型プロセスガス供給バルブ」 を展示します。 ========================= また、【継手施工体験会】を開催します!! フジキン展示ブース内にて、実際に継手を使いながら、 講師が施工説明を行います。(参加費無料) 対象製品:V-Lok、UJR/UPG、IGS 普段は聞けない、基礎の基礎からお話しするので、 初心者の方もベテランの方も、是非お越しください。 ========================= ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、  便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中!  この機会に是非ご登録の上、お越しください!

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【カタログ更新】ニードルストップバルブ/メタルダイヤフラムバルブ/UJR継手/UPG継手/FCS-T/FCS-P

  • カタログニュース

カタログを改訂しました。 バルブ 「NEW US-VALVES 満弁くん ニードルストプバルブ」 「メタルダイヤフラムバルブ NEW MEGA series」 継手 「メタルガスケット継手 UJR継手・自動溶接継手」 「高性能超小型ガスケット接手 UPG継手」 システム 「マスフローコントローラー FCS Thermal Series」 「フローコントロールシステム FCS Pressure Series」 関連製品情報より、ご確認ください。

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【展示会】9/18~9/20「VACUUM2024真空展」出展情報

  • セミナー・イベント

日本最大級の真空機器・真空装置の総合展示会 「VACUUM2024真空展」に出展します。 弊社ブースでは、マスフローコントローラー 「FCS Pressure Series」をはじめとした、 超高純度・高気密性が求められる 真空ラインに適した製品を多数出展いたします。 出展予定製品 ・FCS Pressure Series ・FCS Thermal Series ・集積化ガスシステム(IGS) ・ニューV-Lok ・PUREシリーズ 等 ★「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、  便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中!  この機会に是非ご登録の上、お越しください!

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【展示会】12/13~12/15「SEMICON Japan 2023」出展情報

  • セミナー・イベント

半導体製造装置・材料の国際展示会 「SEMICON Japan 2023」に出展します。 弊社ブースでは、半導体製造装置にかかせない、 高気密性・高耐久性を兼ね備えたバルブや、流体制御機器、 医薬品・食品ライン向けのソフトダイヤフラムバルブ等を展示します。 ========================= また、今回初、【継手施工体験会】を開催します!! フジキン展示ブース内にて、実際に継手を使いながら、 講師が施工説明を行います。(参加費無料) 対象製品:ニューV-Lok、UJR/UPG、IGS 普段は聞けない、基礎の基礎からお話しするので、 初心者の方もベテランの方も、是非お越しください。 ========================= ★また、「CLUB FUJIKIN」メンバー様限定、  便利グッズがもれなくもらえるご来場キャンペーンも実施中!  この機会に是非ご登録の上、お越しください!

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企業情報

株式会社フジキン(Fujikin

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機械要素・部品

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フジキンは特殊バルブ機器を中心とする、最先端の超精密流体制御システムメーカーです。1930年の創業以来、常に極限に挑戦し、技術の究極を超えることを企業ポリシーとしてきました。半導体分野をはじめ、水素、製薬、分析・計測、宇宙分野など、幅広いフィールドで人々の暮らしと社会を支えています。私たちはこれからも、流体制御機器・システムの総合技術で持続可能な社会に貢献していきます。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。

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